发布网友 发布时间:2022-04-22 19:41
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热心网友 时间:2023-11-17 11:03
ITO靶材是一种透明导电薄膜的重要材料,由锡(Sn)和氧化铟(In2O3)组成。ITO靶材具有优异的光学透明性和电学导电性,广泛应用于平面显示器、太阳能电池、触摸屏、LED等领域。
生产ITO靶材主要需要以下工艺:
1. 材料选用:优质的ITO靶材需要高纯度的原材料,如高纯度的金属锡和氧化铟。
2. 靶材制备:将高纯度的锡和氧化铟粉末混合,并进行烧结和成型等工艺,制备成ITO靶材。
3. 溅射制备:将ITO靶材放置在真空溅射设备中,并利用高能粒子(如电子束)轰击靶材表面,使靶材材料释放出原子和分子,并沉积到基底表面,形成ITO薄膜。
为了进一步提高ITO薄膜的性能,人们还尝试使用纳米氧化锌和其他纳米氧化物作为靶材。纳米氧化锌和其他纳米氧化物具有较大的比表面积和优异的光学、电学性能,在ITO薄膜制备过程中,可以提高薄膜的透明性和导电性能。此外,利用纳米材料还可以控制ITO薄膜的晶体结构和成分,从而实现更好的性能*和优化。
热心网友 时间:2023-11-17 11:03
ITO靶材就是氧化铟锡合成陶瓷靶材,用于做导电薄膜材料!