专利名称：镀膜治具及镀膜方法专利类型：发明专利
发明人：陆张武,徐征驰,黄敏,王迎,李恭剑申请号：CN201910524141.6申请日：20190617公开号：CN110106482A公开日：20190809
摘要：本发明提供了一种镀膜治具及镀膜方法，涉及溅射镀膜技术领域，本发明提供的镀膜治具包括：承载组件和压片组件，承载组件设有外凸圆柱面，压片组件与承载组件可拆卸地连接；当压片组件与承载组件连接时，压片组件抵接外凸圆柱面，且沿外凸圆柱面的圆周方向弯曲；压片组件用于连接可弯曲变形的镀膜基片，并使镀膜基片沿外凸圆柱面的圆周方向弯曲，本发明提供的镀膜治具缓解了使用旋转式溅射镀膜机加工大尺寸镀膜基片的成片率低下的技术问题，能够使镀膜基片的镀膜面由平面转变为圆柱面，有利于降低镀膜散差，提高大尺寸镀膜基片的成片率。
申请人：浙江晶驰光电科技有限公司
地址：318000 浙江省台州市椒江区开发大道东段2198号一期联合厂房3楼-A
国籍：CN
代理机构：北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：李青
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