PECVD-350型操作规程

PECVD-350型操作规程

设备调试

（1） 开冷却水，气源

（2） 真空系统操作及注意事项（按次序）

确认设备各操作开关及旋钮都在“关”和“零”位→通水并确认流量及水温→开总“电源” →稍后人机界面进入初始画面→将手动/自动选择开关切换至相应位置→按启动按钮→人机界面进入手动/自动确认画面→按动人机界面确认按钮→人机界面进入真空手动模式/真空自动模式

（3） 人机界面进入真空手动模式窗口；

将PE真空计、PE流量计、分子泵的电源开关置于“开”的状态

（4） 人机界面进入真空自动模式窗口

按动PE抽气系统启动按钮，系统会自动执行真空获得。当PE真空计高真空单元压力小于5.0×10-3Pa,抽真空完成。在此窗口，可以转入镀膜操作窗口、停止窗口。

（5） 镀膜操作

从真空系统手动模式窗口或真空系统自动模式窗口，按动镀膜操作窗口按钮均可进入

镀膜窗口。在此窗口下，

关PE电离规→关节流阀→开PE流量计电源→开截止阀2→将对应流量计单元置于清洗→将充气管道残留空气经真空系统抽走→将PE流量计对应单元置于阀控→观察薄膜压力计1的变化，调节对应流量旋钮需要的流量→逆时针将RF电源的调板压旋钮到最低位置→开RF电源开关→按下电源丝开关→等待并预热5-10分钟→按板压开关启动按钮→缓慢顺时针调节板压旋钮至板压到达500V→反复调节批评电容C1，C2→调节板压带所需功率→按板压开关停止按钮（红色按钮），关板压→按一下按钮（橙色按钮），使弹起，关灯丝→关RF电源开关→将PE流量计对应单元的流量旋转至最小→将对应单元的流量置于关闭→关流量控制器→按PE系统镀膜结束，顺序停止旁路阀

（6） 真空系统停机

从抽空手动模式窗口，抽真空自动模式窗口、镀膜操作窗口均进入停机窗口，在此窗口下，

关PE真空计电离规→按系统停止按钮系统将执行自动停机，系统将提醒您，直到机械泵停止后→按动返回初始按钮→返回初始窗口→停止按钮系统将全部停止运行→将所有按钮调至最低，将所有开关置于关→关总电源

操作注意事项

（1） 在设备正常运行的情况下，请不要按动按钮，也不要通过此按钮停止系统

（2） 在设备正常运行的情况下，请不要随意切换手动/自动选择开关，否则可能造成

系统停止运行

（3） 运行时确保水路畅通，水压正常。确保各阀气源压力正常。

（4） 开机前确保所有设备开关置于关，旋钮置于零。