专利名称:一种光传输器件的耦合成型方法专利类型:发明专利发明人:孔祥君,杨栋
申请号:CN201810068322.8申请日:20180124公开号:CN108318976A公开日:20180724
摘要:本发明涉及一种光传输器件的耦合成型方法,该方法中依次经过如下步骤:制图、制作光掩膜、通过光掩膜分别制得光芯片和光纤阵列晶圆、光纤阵列晶圆上粘合光纤制得光纤阵列长条、光芯片和光纤阵列长条耦合封装、依据需要的光传输器件数目进行切割。该方法中通过对光芯片和光纤阵列图形的设计排版,选取晶圆基板,相同工艺下使制得的光芯片长条上各组之间以及每组内各个光通道的间距与对应的输入端光纤阵列长条和输出端光纤阵列长条上的各间距相同,在耦合封装时就只需对准各长条上最外缘的两个光通道而不用一个一个的对所有光通道进行对齐,一次就可以实现多个光传输器件的同时耦合,提高了工作效率,减少了成本。
申请人:深圳市中兴新地技术股份有限公司
地址:518000 广东省深圳市龙岗区坂田街道办岗头新地路1号中兴新地工业园
国籍:CN
代理机构:深圳市硕法知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人:李晓阳
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示,请点此查看更多更全内容