专利名称:包含扩散阻挡层的各向异性磁电阻材料专利类型:发明专利发明人:刘奕帆,蔡建旺申请号:CN200810226605.7申请日:20081117公开号:CN101740714A公开日:20100616
摘要:本发明涉及一种基于NiFe磁性层的各向异性磁电阻材料。这种薄膜系统是以NiFe作为磁性层,通过在缓冲层与磁性层之间,磁性层与保护层之间添加Pt作为扩散阻挡层,可以有效抑制高温下缓冲层及保护层材料Ta与NiFe之间的相互扩散。本发明的制备工艺简单稳定,非常适合实际操作,可应用于磁场传感器系统中。并且,本发明中添加Pt作为扩散阻挡层后,对材料的矫顽力基本没有影响,在实际应用中具有重要意义。
申请人:中国科学院物理研究所
地址:100190 北京市海淀区中关村南三街8号
国籍:CN
代理机构:北京泛华伟业知识产权代理有限公司
代理人:王勇
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