专利名称：一种砷烷气体制备设备的安全控制运行系统专利类型：实用新型专利
发明人：彭小磊,赵青松,宁红峰,南建辉申请号：CN201821561144.4申请日：20180925公开号：CN208917317U公开日：20190531
摘要：本实用新型提供一种砷烷气体制备设备的安全控制运行系统，包括：所述系统包括：箱体、微负压保持装置和气体处理装置，所述箱体为全密闭结构，所述箱体中设有电解装置；气体处理装置位于箱体外部，且与箱体中的电解装置管路连接；微负压保持装置位于箱体外部，包括至少一个负压风机，所述微负压保持装置一端通过管路与箱体连接，另一端通过管路与气体处理装置连接。上述系统可以制备高纯度的砷烷气体，且安全性高，实现污染物的零排放。
申请人：东泰高科装备科技有限公司
地址：102209 北京市昌平区北七家镇宏福创业园15号
国籍：CN
代理机构：北京易捷胜知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：齐胜杰
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