专利名称：低温多晶硅薄膜晶体管及其制作方法和显示装置专利类型：发明专利
发明人：罗浩,张毅先,任思雨,苏君海,李建华申请号：CN201711403931.6申请日：20171222公开号：CN108110061A公开日：20180601
摘要：一种低温多晶硅晶体管及其制作方法和显示装置，制作方法包括如下步骤：在基板上形成缓冲层；在所述缓冲层上形成有源层；在所述有源层上形成掺杂层；在所述缓冲层和所述掺杂层上形成栅极绝缘层；在所述栅极绝缘层上形成栅极；在所述栅极上形成层间绝缘层；在所述栅极绝缘层和所述层间绝缘层上依次形成相互连通的第一过孔和第二过孔；在所述第一过孔和所述第二过孔内形成源/漏极并与所述掺杂层连接。采用上述制作方法获得的低温多晶硅薄膜晶体管，具有将刻蚀过程中产生SiO的残留物阻挡的掺杂层，无需湿法刻蚀去除SiO，省去了对湿法刻蚀产生的化学废液进行处理的工序，从而降低了生产成本。
申请人：信利(惠州)智能显示有限公司
地址：516029 广东省惠州市仲恺高新区新华大道南1号
国籍：CN
代理机构：广州华进联合专利商标代理有限公司
代理人：叶剑
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