专利名称：研磨垫与其应用及其制造方法专利类型：发明专利
发明人：冯崇智,姚伊蓬,赵征祥,洪永璋申请号：CN200710163719.7申请日：20071011公开号：CN101306518A公开日：20081119
摘要：本发明主要涉及一种研磨垫，所述研磨垫包含缓冲片、研磨片和用于将所述缓冲片粘合到所述研磨片的粘合剂。所述缓冲片包含纤维。所述研磨片包含第一弹性体。所述粘合剂包含第二弹性体。本发明还提供一种研磨衬底的方法，其包含使用所述研磨垫的和一种用于制造上述研磨垫的方法。
申请人：三芳化学工业股份有限公司
地址：中国台湾高雄市
国籍：CN
代理机构：北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人：邢好路
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