专利名称：探针卡的固定机构、探针卡的固定方法以及探针装
置
专利类型：发明专利发明人：中村茂木
申请号：CN200710105525.1申请日：20070525公开号：CN101109766A公开日：20080123
摘要：本发明提供一种结构紧凑、成本低廉，能以稳定固定力固定探针卡且在驱动装置中能简单改变探针卡保持力的探针卡固定机构。本发明的探针卡的固定机构(10)包括固定于顶板(11)的开口部的镶嵌垫环(12)、可旋转地被支撑在该镶嵌垫环上的锁定环(13)、从该锁定环(13)径向延伸的杠杆(14)和分别与该杠杆(14)连接的弹簧机构(15)以及气缸(17)，通过气缸(17)在解除弹簧机构(15)的压缩力时从弹簧机构(15)向杠杆(14)提供推压力，使锁定环(13)旋转，由保持件(16)举起探针卡(161)，用锁定环(13)和镶嵌垫环(12)保持卡保持件(161)而固定探针卡(16)。
申请人：东京毅力科创株式会社
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人：龙淳
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