专利名称：一种基于像素的光学邻近效应校正的优化方法专利类型：发明专利发明人：马旭,李艳秋
申请号：CN201110067621.8申请日：20110320公开号：CN102122111A公开日：20110713
摘要：本发明涉及一种基于像素的光学邻近效应校正的优化方法，通过将目标图形作为初始掩膜图形M，并设定矩形总数上限为L；计算目标函数的梯度寻找绝对值最大的可翻转像素点并进行翻转；当翻转后计算出的成像误差项F比翻转前计算出的成像误差项F小时，且翻转后掩膜图形的分割矩形总数S不超过L时，保留像素翻转结果；否则还原为像素原值。本发明在每次像素翻转后，都要判定成像误差项F是否降低，因此能够确保在PBOPC优化过程中，成像误差逐步递减，进而提高成像分辨率。同时，在每次像素翻转后，都要判定当前掩膜图形的分割矩形总数S是否超过上限L，因此本发明能够有效的限制优化后掩膜图形的复杂度，从而限制掩膜制造成本。
申请人：北京理工大学
地址：100081 北京市海淀区中关村南大街5号
国籍：CN
代理机构：北京理工大学专利中心
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