专利名称：一种物理气相沉积设备专利类型：实用新型专利
发明人：陈金海,刘涛,金勇超,梁文勇申请号：CN201821238930.0申请日：20180802公开号：CN208604196U公开日：20190315
摘要：本实用新型公开了一种物理气相沉积设备，包括气相沉积箱和蒸镀器，气相沉积箱上部的两侧对应竖直安装有两组驱动电机，两组驱动电机的输出轴末端对应连接两根丝杆的顶端，两根丝杆的外部对应通过两根连接杆连接托架两侧的中部，本实用新型，利用驱动电机驱动丝杆转动，丝杆转动驱动连接杆上下移动，连接杆上下移动带动托架上下移动，便于基片的放置以及基片位置的调整，利于提高气相沉积作业的效率；利用转动电机驱动连接筒转动，连接筒转动驱动出气口转动使基片底面均匀的蒸镀，提高镀膜的质量；利用气缸工作驱动弧形板转动导向蒸发物气体集中向一小区域流动，便于小范围和小区域的基片镀膜工作，提高装置整体的适应性。
申请人：科汇纳米技术(常州)有限公司
地址：213135 江苏省常州市新北区西夏墅镇灵山中路26号工具产业基地28-02栋
国籍：CN
代理机构：南京禾易知识产权代理有限公司
代理人：王彩君
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