专利名称：一种基板切割装置专利类型：发明专利
发明人：袁明峰,朱鹏程,凌步军,滕宇,赵有伟,孙月飞,冷志斌,
冯高俊,吕金鹏
申请号：CN202010608241.X申请日：20200629公开号：CN111843229A公开日：20201030
摘要：本发明提出一种基板切割装置，包括，上料区，用于运送基板；切割区，设置在所述上料区的一侧，用于切割所述基板，以将所述基板切割成多个子基板，所述切割区内设置有激光器；检查区，设置在所述切割区的一侧，用于检测激光束的状态；下料区，设置在所述切割区远离所述上料区的一侧，用于运送所述多个子基板；移动部件，设置在所述切割区和所述检查区之间，将所述激光器从所述切割区移动至所述检查区。本发明提出的基板切割装置可以提高加工质量。
申请人：江苏亚威艾欧斯激光科技有限公司
地址：225600 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区12幢401-73
国籍：CN
代理机构：上海光华专利事务所(普通合伙)
代理人：林凡燕
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