专利名称：掺铌纳米铟锡氧化物粉末及其高密度溅射镀膜靶材
的制备方法
专利类型：发明专利
发明人：张维佳,郑伟,张静,沈燕龙,赵而敬申请号：CN200910087558.7申请日：20090629公开号：CN101580379A公开日：20091118
摘要：一种掺铌纳米铟锡氧化物粉末及其高密度溅射镀膜靶材的制备方法，包括以下步骤：(1)对高纯金属进行溶解：用无机酸溶解高纯金属铌、高纯金属铟、高纯金属锡成透明溶液；(2)配料：将透明溶液按比例分装容器；(3)化学沉淀：将三种透明溶液制得掺铌重掺锡的氢氧化铟纳米粉末；(4)清洗：用去离子水清洗掺铌重掺锡的氢氧化铟纳米粉末并沉淀；(5)煅烧：将纳米粉末进行煅烧，制得掺铌纳米铟锡氧化物粉末；(6)造粒：将掺铌纳米铟锡氧化物粉末加入粘合剂并干燥，制得掺铌的铟锡氧化物成型前粉未；(7)成型：将掺铌的铟锡氧化物成型前粉末压制成初胚；(8)烧结：将初胚进行常压烧结，制得高密度掺铌的铟锡氧化物溅射镀膜靶材；若要进一步提高该靶密度，则采用气压烧结。
申请人：北京航空航天大学,郑伟
地址：100191 北京市海淀区学院路37号北京航空航天大学物理学院应用物理系
国籍：CN
代理机构：北京慧泉知识产权代理有限公司
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容