专利名称：衬底处理装置和方法专利类型：发明专利
发明人：T·马利南,V·基尔皮,M·普达斯申请号：CN201780092120.0申请日：20170621公开号：CN110770365A公开日：20200207
摘要：一种衬底处理装置，包括密封压力容器，诸如原子层沉积ALD装置；流体入口组件，被附接到密封压力容器的壁，该流体入口组件具有穿过壁的流体入口管；以及弹性元件，在流体入口组件中的流体入口管周围，从而将入口管耦合到壁，其中弹性元件的内部表面和外部表面中的一个表面受到在压力容器内主导的压力并且另一表面受到环境压力，以及其中流体入口管防止被携带到内部的流体与所述弹性元件接触；以及一种相关方法。
申请人：皮考逊公司
地址：芬兰埃斯波
国籍：FI
代理机构：北京市金杜律师事务所
代理人：赵林琳
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