专利名称：一种透射光栅专利类型：发明专利
发明人：史丽娜,刘子维,浦探超,李海亮,牛洁斌,谢常青,刘明申请号：CN201610624132.0申请日：20160802公开号：CN106094086A公开日：20161109
摘要：本发明提供了一种透射光栅，包括：不透光薄膜及N个透光对称多边形孔；其中，N个透光对称多边形孔在不透光薄膜上呈斜方格子分布，且斜方格子的周期与对称多边形孔的大小之间具有预设的比例；如此，因N个透光对称多边形孔在不透光薄膜上呈斜方格子分布，完全抑制了背景噪声，提高了信噪比；且斜方格子的周期与所述对称多边形孔的大小之间按照预设的比例取值，使得所述光栅完全抑制了2级、3级、4级衍射，从而消除了谐波污染，提高了分辨率，进而确保分析结果的准确性，提高了摄谱精度；并且，该光栅能够实现自支撑，因此可以消除衬底带来的损耗；另外，由于该光栅结构上只存在透光和不透光两种区域，这种二值化的结构易于加工。
申请人：中国科学院微电子研究所
地址：100029 北京市朝阳区北土城西路3号
国籍：CN
代理机构：北京华沛德权律师事务所
代理人：房德权
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