专利名称：设有掺杂器的直拉硅单晶炉专利类型：实用新型专利发明人：施美生
申请号：CN200820154630.4申请日：20081030公开号：CN201284384Y公开日：20090805
摘要：一种设有掺杂器的直拉硅单晶炉，包括直拉单晶炉本体，单晶炉本体包括坩埚、炉膛保温盖，所述直拉单晶炉本体设置掺杂器，所述掺杂器包括：用于盛装掺杂元素的圆柱型的料斗；所述料斗通过棒连接手柄。所述棒与料斗的侧面或底部采用焊接方式连接；所述手柄与棒通过穿过固定孔的定位销连接。本实用新型具有方便、安全、正确，对炉膛内壁沾污较轻，且掺杂量少的优点。
申请人：上海九晶电子材料股份有限公司
地址：201617 上海市松江区长塔路399号
国籍：CN
代理机构：上海天翔知识产权代理有限公司
代理人：刘粉宝
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