专利名称：一种单晶炉真空管路专利类型：实用新型专利发明人：郜勇军,郑裕财,夏安阳申请号：CN201020138697.6申请日：20100323公开号：CN201665726U公开日：20101208
摘要：本实用新型涉及一种单晶炉真空管路，该单晶炉真空管路包括真空计与抽气管道，真空计通过软管与抽气管道相接。采用本实用新型，由于真空计通过软管连接抽气管道，单晶炉中水管产生的水凝不会直接滴到真空计上，同时，在清扫时不会碰到真空计，因此间接提高了真空计的使用寿命。
申请人：浙江矽盛电子有限公司
地址：324300 浙江省开化县工业园区园三路1号
国籍：CN
代理机构：杭州天正专利事务所有限公司
代理人：舒良
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