刘进长;刘振忠;张建
【期刊名称】《科技中国》 【年(卷),期】2018(0)6
【摘 要】MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)传感器是在微电子技术基础上发展起来的、多学科交叉的前沿技术方向,在\"中国制造2025\"和\"工业4.0\"中发挥着关键作用。本文对MEMS传感器技术国内外发展现状与趋势进行了分析,并提出了我国进一步发展重点和对策建议。 【总页数】3页(P8-10) 【作 者】刘进长;刘振忠;张建
【作者单位】科技部高技术研究发展中心;天津理工大学;河北工业大学 【正文语种】中 文 【相关文献】
1.全球MEMS传感器技术创新现状与趋势——基于2000-2014年专利分析 [J], 梁琴琴;赵志耘;赵蕴华
2.MEMS传感器技术发展现状及应用初探 [J], 伍国伟; 伍斯龙 3.MEMS传感器技术发展现状及应用初探 [J], 王超
4.面向天地一体化信息网络的星载交换技术发展现状与趋势 [J], 吴昊;王帅;邓献策;刘沛龙;刘凯;晏坚
5.面向天地一体化信息网络的星载交换技术发展现状与趋势 [J], 吴昊;王帅;邓献策;刘沛龙;刘凯;晏坚
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