单晶炉的数据和要求

浙江宏业新能源有限公司

TDR-90单晶炉技术数据和要求

一． 技术特性：

1.主要性能：

1）能拉制晶棒的直径： 6”--8”

2）拉制晶棒的最大长度： 2,000 mm以下(籽晶及缩颈-放肩-晶体-收尾)

3)熔料量:90kg

2.主要参数：

1) 电源电压： 三相AC380V±5％ 200KVA

2) 电源频率： 50Hz/ 50Hz

3) 加热变压器容量： 50V 2700A 150KW

输出调整范围： 16.5KW～135KW(300A～2700A、输出控制方式： 功率控制

功率控制精度： 额定直流输出±2%以内

4) 最高加热温度： 16000C

5) 冷炉极限真空度： < 3Pa

6) 上炉筒尺寸：

高度： 900mm

内径： Ф900 mm

～50V)

5.5V

7) 隔离阀： 手动翻板水冷式

高度： 482 mm

通径： Ф280mm

8) 主炉室尺寸：900*1250 mm

高度：炉盖高：260 mm

下炉筒：900*350 mm

上半部分高：690 mm

下半部分高：250 mm

炉底盘深：135 mm（两电极中心距：430 mm）

9) 籽晶提升装置： 软轴式

籽晶在炉内有效行程： 约2500 mm

籽晶提升速度： 低速 0.3～8 mm/min 高速≥300 mm/min

籽晶旋转速度： 2～40 rpm

可拉制晶体重量：90kg

卷线辊筒： 6”

密 封：晶体旋转轴：磁性流体

籽晶提升装置卷线轴：磁性流体

籽晶软轴：材质：钨 19×7(缕)

直径：约 2.5 mm

10) 坩埚驱动机构：

坩埚旋转速度： 2～20 rpm

坩埚轴有效行程： 450 mm

坩埚升降速度：低速： 0.02～1 mm/min

高速： ≥50mm/min

坩埚轴荷重： 165kg

密 封： 磁性流体和SUS316L焊接波纹管

3.． 尺寸和重量：

外形及安装尺寸：

主机占地面积：2500*200mm

主机最大高度：7500 mm以下

(在上炉筒上升的情况下，从设备主体最下部起至籽晶提升装置最上部为止的高度)

重量：

炉主体：约4500kg

操作箱：约100kg

控制箱：约400kg

电源箱：约2100kg

设备整机和配套件包括：炉主体、操作箱、控制箱、电源箱、水冷电缆和随机附件。

4.使用环境

A）环境温度：20±5℃；

B）相对湿度：≤65%，杜绝腐蚀性气体；

C）外界振源当大于10Hz时，振幅值应小于0.003mm；

5.水源要求

冷却水源的具体要求为：

酸碱度 PH=6.0～8.0

硬度（CaCO3）＜150 PPM

导电率＜500μS/CM

氯离子（Cl-）＜100PPM

硫酸根离子（SO42-）＜200PPM

碳酸碱（CaCO3） 15～60PPM

流 量： 280L/min～320L/min（含电源的冷却水）

进水压力： 3kg/c㎡～3.5kg/c㎡

进出水压力差：2kg/c㎡以上

进水温度： 10～25℃

6.气源要求

氩气纯度： ﹥99.999％

氩气压力： 氩气流量： 0.2MPa(2.1kg/c㎡)以上

最大流量150L/min