专利名称：一种光学界面面型测量的方法专利类型：发明专利
发明人：杨火木,李洪儒,邓国亮申请号：CN201910035626.9申请日：20190115公开号：CN109655012A公开日：20190419
摘要：本发明涉及一种采用超短脉冲激光对多界面目标体的界面面型进行测量的方法。包括步骤：选择超短脉冲激光光源；超短激光脉冲经光谱滤波后，进入迈克尔逊干涉仪，被分光镜分为两束光，一束光由参考镜反射进入干涉光接收系统作为参考光；另一束则由目标体待测界面反射进入干涉光接收系统作为信号光；调节迈克尔逊干涉仪参考臂长度或测量臂长度，使得参考光只与目标体待测界面反射回来的信号光产生干涉，而不会与目标体的其它界面反射回来的信号光产生干涉，计算机系统根据采集到的双界面干涉条纹得出待测界面的面型。本发明通过利用超短脉冲之间的相干特性，实现对多界面目标体的界面面型测量，是一种新型的测量方法，具有简单、稳定、效率高等特点。
申请人：四川大学
地址：610065 四川省成都市武侯区一环路南一段24号
国籍：CN
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