专利名称：一种小型硅蓝宝石压差传感器专利类型：发明专利
发明人：王臻,李文璋,杨明,王伟,余菲,王彦奎申请号：CN201710720153.7申请日：20170821公开号：CN107505081A公开日：20171222
摘要：本发明涉及一种小型硅蓝宝石压差传感器，用于液压或气压的压力压差测量，其中，敏感芯体的顶部加工出金属膜片，金属膜片上设置硅蓝宝石芯片，金属膜片和硅蓝宝石芯片高温烧结为一体并通过转接板和第一导线与电路板相连，敏感芯体整体置于基座内，敏感芯体上段为螺纹段，与基座螺纹连接，敏感芯体下段为密封段，与基座密封连接。本发明的小型硅蓝宝石压差传感器不仅避免了目前油封式硅压阻压差传感器中硅油泄露带来的隐患，还具有小型化、精度高、抗干扰能力强、可靠性高、环境适应性强的特点。
申请人：北京精密机电控制设备研究所,中国运载火箭技术研究院
地址：100076 北京市丰台区南大红门路1号
国籍：CN
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