专利名称：二维电容式低频振动传感器及其制备方法专利类型：发明专利
发明人：尹磊,刘红忠,陈邦道,史永胜申请号：CN201710499768.1申请日：20170627公开号：CN107152967A公开日：20170912
摘要：本发明公开了一种二维电容式低频振动传感器及其制备方法，该传感器包括：第一电极板、第二电极板、第三电极板、第四电极板、基底和液滴，基底上设置有第一电极板、第二电极板、第三电极板和第四电极板，第一电极板和第二电极板组成第一组平行板电容器，第三电极板和第四电极板组成第二组平行板电容器，液滴的底部被镶嵌在基底上，且液滴位于第一组平行板电容器和第二组平行板电容器之间。其包括以下步骤：基底上光刻胶图形化；溅射ZnO层；水浴生长ZnO纳米结构；氟表面处理；残余光刻胶去除；传感器封装。本发明稳定性好，响应速度快，准确性高，使外界二维低频振动可以容易测量。
申请人：常州瑞丰特科技有限公司
地址：213000 江苏省常州市西太湖科技产业园兰香路8号
国籍：CN
代理机构：苏州广正知识产权代理有限公司
代理人：张利强
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