专利名称：一种主动隔热方式的柔性热膜剪应力微传感器及其
制作方法
专利类型：发明专利
发明人：马炳和,陈润博,严宇超,罗剑,邓进军申请号：CN201911035943.7申请日：20191029公开号：CN110836742A公开日：20200225
摘要：本发明公开了一种主动隔热方式的柔性热膜剪应力微传感器及其制作方法，属于传感器技术领域。该传感器包括柔性衬底1、中间绝缘层2、下层发热单元3、上层热敏单元4、下层线阻单元5和上层线阻单元6；所述传感器上下层工作过程中通过中间绝缘层2来实现电隔离；所述主动隔热方式是指上层热敏单元4直接与流场进行强制对流换热，输出信号直接反映流体壁面剪应力的大小，下层发热单元3通过电流驱动产热隔绝上层热敏单元4向基底的导热作用。本发明的传感器输出信号完全反映其与流场的强制对流换热作用，完全反映流体壁面剪应力的大小，进一步提升传感器的静动态性能。
申请人：西北工业大学
地址：710072 陕西省西安市友谊西路127号
国籍：CN
代理机构：西北工业大学专利中心
代理人：吕湘连
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