（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201711128909.5 （22）申请日 2017.11.15
（71）申请人 北京自动化控制设备研究所
地址 100074 北京市丰台区云岗北区西里1号院
（10）申请公布号 CN109781097A
（43）申请公布日 2019.05.21
（72）发明人 郭中洋;刘飞;盛洁;苏翼;夏春晓;王登顺;刘凯;崔健;林梦娜 （74）专利代理机构 核工业专利中心
代理人 汝小龙
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种集成化微PNT单元
（57）摘要
本发明属于定位导航授时(PNT)领域，具
体涉及一种集成化微PNT单元；包括中心微时钟模块和外侧微惯性模块；中心微时钟模块的锚点位于中心，锚点的外部分布有若干圆环，圆环与圆环之间均匀分布有径向短梁，外电极分布在最外围，工作时，通过静电力作用和闭环反馈实现稳定控制，对外提供稳定的频率信息；微惯性模块的环形锚点位于中心，圆环位于外侧，圆环与环形锚点之间均匀分布有组合梁，圆环的内、外
侧均匀分布有平面外电极和平面内电极、圆环上下表面分布有离面电极，实现X、Y、Z三轴向加速度输入和X、Y、Z三轴向角运动输入的敏感。本发明整体可通过MEMS平面工艺实现，不涉及微观层面的多层堆叠和精密组装，实现工艺较为简单。
法律状态
法律状态公告日
2019-05-21 2019-05-21 2019-06-14
法律状态信息
公开 公开
实质审查的生效
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公开 公开
实质审查的生效
权利要求说明书
一种集成化微PNT单元的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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