专利名称：硅片刻蚀设备专利类型：发明专利
发明人：蒋旭东,张弛,王志刚,王四海,蒋成斌,顾建申请号：CN202010825240.0申请日：20200817公开号：CN111916376A公开日：20201110
摘要：本发明公开了一种硅片刻蚀设备，包括机架，所述机架上设置有传送装置和刻蚀装置，所述刻蚀装置设置在传送装置一侧，所述刻蚀装置包括驱动装置、安装板和泡棉棒，所述安装板安装在机架上，所述泡棉棒转动设置在所述安装板两侧，所述驱动装置驱动泡棉棒转动，所述泡棉棒下端浸泡在清洗剂池内，所述传送装置将硅片传送至刻蚀装置工位，驱动装置驱动泡棉棒转动对硅片两侧进行清洗。本发明可以消除侧面PN结，使得硅片充分使用，有效避免做成电池片的漏电现象。
申请人：南京卓胜自动化设备有限公司
地址：211100 江苏省南京市江宁区将军大道219号太平工业园
国籍：CN
代理机构：南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人：赵淑芳
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