专利名称：湿度传感器的检查装置以及调节湿度传感器的传感
器特性的方法
专利类型：发明专利发明人：板仓敏和,矶贝俊树申请号：CN200610059805.9申请日：20060307公开号：CN1831525A公开日：20060913
摘要：一种用于检查湿度传感器(100)的检查装置，所述湿度传感器(100)具有集成在一个芯片中的传感器部分(160)和电路部分(170)。所述检查装置包括：容纳晶片(W)的检查室(222)，晶片(W)中多个湿度传感器(100)设置成晶片状态的传感器芯片；接触电路部分(170)的电极焊盘的探针(226a)；电连接到探针(226a)以检查湿度传感器(100)的测试器(210)；以及控制检查室(222)的温度和湿度的湿度—湿度控制部分(230)。
申请人：株式会社电装,株式会社日本自动车部品综合研究所
地址：日本爱知县
国籍：JP
代理机构：永新专利商标代理有限公司
代理人：蔡洪贵
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