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微纳线制备装置及微纳结构[实用新型专利]

2024-06-10 来源:易榕旅网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:微纳线制备装置及微纳结构专利类型:实用新型专利发明人:方欲晓,赵春,赵策洲,杨莉申请号:CN201920252988.9申请日:20190228公开号:CN209850936U公开日:20191227

摘要:一种微纳线制备装置及微纳结构,属于微电子技术领域。所述微纳线制备装置包括液相纳米材料存储装置和微纳线布施机构;所述液相纳米材料存储装置设有至少一个出液孔,微纳线布施机构与出液孔一一对应设置;所述微纳线布施机构包括至少两根柔性线材,柔性线材表面具有规则分布的微型结构,柔性线材根部固定在液相纳米材料存储装置上,两根柔性线材为一组、端部下垂落于衬底上并相互顶靠,端部顶靠的两根柔性线材在衬底上投影后的夹角范围为1°~5°。本实用新型基于液相纳米材料的重力、与柔性线材的拉普拉斯压力差和不对称保持力,能够实现微纳线的快速制备。

申请人:西交利物浦大学

地址:215123 江苏省苏州市工业园区独墅湖科教创新区仁爱路111号

国籍:CN

代理机构:苏州创元专利商标事务所有限公司

代理人:范晴

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