专利名称：用于在背侧处理时保护前侧电路的耐划涂层专利类型：发明专利
发明人：K·A·耶斯,M·M·小戴利,T·D·弗莱申请号：CN201080041868.6申请日：20100915公开号：CN102576680A公开日：20120711
摘要：用于在提供背侧处理时保护微电机械装置和半导体装置的前侧的耐划涂层，以及使用该耐划涂层的方法。所述涂层为非光敏性、可去除的涂层，能耐受高处理温度。这些涂层还使得在装置设计中可以取消独立的蚀刻停止层。所述涂层由包含溶解或分散在溶剂体系中的组分的组合物形成。该组分选自苯乙烯-丙烯腈共聚物和芳族砜聚合物。
申请人：布鲁尔科技公司
地址：美国密苏里州
国籍：US
代理机构：上海专利商标事务所有限公司
代理人：王颖
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容