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使用光纤接收器通道的光栅编码器和位移测量设备[发明专利]

2020-06-12 来源:易榕旅网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:使用光纤接收器通道的光栅编码器和位移测量设备专利类型:发明专利发明人:约瑟夫·D·托比亚松申请号:CN03178436.4申请日:20030716公开号:CN1495501A公开日:20040512

摘要:提供了一种高精度的微型光学编码器。一光栅编码器包括其上形成有一标尺光栅(80)的一标尺(81);一光源(280)用于发射光至标尺光栅(80);一光纤读取头,具有一尖端,被配置可与光源(280)一起相对于标尺(81)沿一测量轴(82)移动。光纤读取头(300)包括多个用于接收由来自标尺光栅(80)的光形成在一特定位置的一自成像图像(265)的光纤接收器通道(190A-C),光纤接收器通道(190)包括一光纤(191)、一形成在该光纤的一端中的接收器通道孔径(110),以及形成在接收器通道孔径(110)处的一相位掩模(120)。相位掩模(120)具有一光栅,该光栅的周期对应于在自成像图像中形成的一亮暗周期。光纤接收器通道(190A-C)的这些光栅具有相对彼此不同的空间相位关系。

申请人:三丰株式会社

地址:日本神奈川

国籍:JP

代理机构:永新专利商标代理有限公司

代理人:韩宏

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