专利名称:反射型光电式编码器用刻度尺及反射型光电式编码
器
专利类型:发明专利发明人:小嶋谦一
申请号:CN200510059253.7申请日:20050325公开号:CN1673687A公开日:20050928
摘要:一种反射型光电式编码器用刻度尺,其在相位光栅的侧面不带反射膜,通过把相位光栅(12)的边角θ作成80°<θ<90°,使得即使在光栅形状和尺寸等有偏差时也能得到稳定地衍射效率。
申请人:三丰株式会社
地址:日本神奈川县
国籍:JP
代理机构:北京市柳沈律师事务所
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