专利名称：一种铟锡氧化物陶瓷靶材的制备方法专利类型：发明专利发明人：不公告发明人申请号：CN201810034431.8申请日：20180115公开号：CN108218419A公开日：20180629
摘要：本发明公开了一种铟锡氧化物陶瓷靶材的制备方法，其在陶瓷坯体成型过程中，对模具保压的同时以150~220℃保温10~50min，实现坯体内部颗粒间的微区水热反应，达到物质传输、颗粒圆滑等目的；之后使模具升温至270~400℃并在该温度下继续保温保压10~50min，实现颗粒间水的超临界化，水中溶解的无机物在晶界均匀析出，最终达到晶粒间相互“焊接”的作用，从而有效提升坯体样块的致密度，有助于降低最终制得的ITO靶材的致密度和烧结温度；本发明实现了低于1500℃的致密烧结，得到的ITO靶材的晶粒尺寸为5~10μm，相对密度大于99.5%，内部结构全部为氧化铟的立方相结构，没有任何第二相物质产生。
申请人：宁波纳诺特新材料科技有限公司
地址：315300 浙江省宁波市慈溪市古塘街道担山北路145号
国籍：CN
代理机构：宁波奥圣专利代理事务所(普通合伙)
代理人：谢潇
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