1《直拉单晶硅工艺技术》

课程授课计划

选用教材及参考资料 《直拉单晶硅工艺技术》黄有志主编 化学工业出版社

授课单元序号 各教学环节学时数 （在对应栏目中填写学时数） 主要教学内容与要求 理论 实验 实训 一体化教学 周次 授课地点 教学内容： 1.1-1.4晶体基础知识（一） 1 教学要求： 熟悉晶体基本知识 教学内容： 1.1-1.4晶体基础知识（二） 2 教学要求： 1、 熟悉晶体基本知识 教学内容： 2.1-2.5直拉单晶炉 3 教学要求： 了解直拉单晶炉各部分功能； 教学内容： 单晶硅料与多晶硅料的认识 4 教学要求： 认识单晶硅料、多晶硅料； 教学内容： 3.1热系统 教学要求： 5 1、掌握热场的含义表示方法； 2、熟悉动态热场和静态热场及其对单晶生长的影响。 教学内容： 3.2-3.3安装与对中 教学要求： 6 1、熟悉安装对中的方法； 2、了解安装对中的不同步骤的参照。 7 教学内容： 3.4温度梯度与生长 教学要求： 1、熟悉温度梯度对单晶生长的影响； 教学内容： 3.5热场的调整 教学要求： 熟悉热场调整的方法； 教学内容： 单晶晶相观察 教学要求： 1、熟悉碳化硅陶瓷的制备工艺； 1 / 4

2 第 1 周 第 1 周 第 2 周 第 2 周 教学楼 2 教学楼 2 教学楼 2 冶金材料实验室 2 第 3 周 教学楼 2 第 3 周 第 4 周 第 4 周 第5周 教学楼 2 教学楼 8 2 教学楼 9 2 冶金材料实验室 1《直拉单晶硅工艺技术》

2、掌握碳化硅陶瓷的主要性能。 10 教学内容： 4控制器 教学要求： 了解控制器的功能和设置。 教学内容： 5.1硅原料 教学要求： 了解硅原料的来源；。 教学内容： 5.2-5.3石英坩埚 教学要求： 1、了解石英坩埚的制造； 2、熟悉石英坩埚的质检和使用中损坏形式。 教学内容： 多晶硅装料参观 教学要求： 掌握多晶硅装料的方法； 教学内容： 5.4.5.7原辅料、自动硅料清洗机 教学要求： 1、熟悉直拉单晶用到的原辅料和处理方法。 2、了解硅料清洗机的使用。 教学内容： 6.1-6.2直拉工艺流程 教学要求： 掌握直拉工艺的整理流程 教学内容： 6.3-6.4抽空及熔料 教学要求： 1、掌握抽空熔料环节温度压力的控制 2、熟悉当中的部分参数 教学内容： 6.5-6.6收尾及停炉 教学要求： 1、掌握收尾停炉的工艺； 2、熟悉常见生产故障/事故的处理方法。 教学内容： 6.7拉速温校曲线的设定 教学要求： 了解拉速及温校曲线大致走势； 教学内容： 6.8-6.9坩埚升速的计算 教学要求： 掌握坩埚升速的计算方法 2 / 4

2 第 5 周 第 6 周 第 6 周 教学楼 11 2 教学楼 12 2 教学楼 13 2 第7周 光伏企业 14 2 第 7 周 第 8 周 第 8 周 教学楼 15 2 教学楼 16 2 教学楼 17 2 第 9 周 第 9 周 第 10 周 教学楼 18 2 教学楼 19 2 教学楼 1《直拉单晶硅工艺技术》

20 教学内容： 7.1光伏产业简介 教学要求： 1、了解光伏材料的发展方向； 2、熟悉光伏材料制造的常用方法。 教学内容： 坩埚喷涂的参观 教学要求： 熟悉坩埚喷涂的方法和注意事项。 教学内容： 7.2多晶硅炉结构（一） 教学要求： 掌握多晶硅炉结构。 教学内容： 7.2多晶硅炉结构（二） 教学要求： 掌握多晶硅炉结构。 教学内容： 多晶硅生产工艺（一） 教学要求： 1、掌握多晶硅声场工艺。 2、具熟悉体操作步骤 教学内容： 多晶硅生产工艺（二） 教学要求： 1、掌握多晶硅声场工艺。 2、具熟悉体操作步骤 教学内容： 7.4多晶硅优缺点 教学要求： 1、了解多晶硅的优缺点； 2、更具具体要求选取合理的生产工艺。 教学内容： 8.1-8.2杂质 教学要求： 掌握硅材料提纯中的杂质种类及杂质来源 教学内容： 8.3分凝效应 教学要求： 1、掌握分凝效应的原理； 2、熟悉利用分凝效应提纯硅材料。 教学内容： 8.5 Keff和Ko关系 教学要求： 掌握Keff和Ko关系； 2 第 10 周 教学楼 21 2 第11周 光伏企业 22 2 第 11 周 第 12 周 教学楼 23 2 教学楼 24 2 第 12 周 教学楼 25 2 第 13 周 教学楼 26 2 第 13 周 第 14 周 第 14 周 教学楼 27 2 教学楼 28 2 教学楼 29 2 第 15 周 教学楼 3 / 4

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30 教学内容： 8.7掺杂 教学要求： 1、熟悉掺杂的分类； 2、掌握掺杂的方法。 教学内容： 参观多晶硅炉 教学要求： 熟悉多晶硅炉的构造以及作用 教学内容： 复习 2 第 15 周 第 16 周 第 16 周 教学楼 31 2 光伏企业 32 合计学时 2 教学楼 64

54 4 6 教学主任（院长）签字：

年 月 日

说明：1、本课程授课计划由授课教师负责填写，于每学期开学第二周内送交所在院部教学主任（院长）审定，签字后备查。

2、此表一式三份，其中任课教师一份，教师所在院部存档一份，报送教务处一份。

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