专利名称：干涉仪装置专利类型：实用新型专利发明人：肖澜
申请号：CN200620153946.2申请日：20061130公开号：CN200979404Y公开日：20071121
摘要：本实用新型所提的干涉仪装置，具有XYZ轴调节单元，该Z轴调节单元置于干涉仪的主体1之外，包括有一Z轴调节单元底座4，复数个Z轴导杆41，一Z轴调节螺杆42，一Z轴调节螺母43；复数个Z轴导杆41的一端固定于XY轴调节单元11(12)上，另一端穿过具有长轴承组件的Z轴调节单元底座4，该底座4通过紧固螺丝固定于干涉仪本体1上，Z轴调节螺杆42通过紧固螺丝固定于Z轴调节单元底座4上，Z轴调节螺母43套于Z轴调节螺杆42上；Z轴调节螺杆42与XY轴调节单元11(12)互不接触，Z轴调节螺母43的部分置于XY轴调节单元下面，并互相接触。Z轴调节螺母43转动时，同时可以带动XY轴调节单元一起在Z轴方向进行位移移动，可以检测不同曲率的镜片，并使得镜片检测时间大大减短，提高检测效率。
申请人：佛山普立华科技有限公司
地址：528051 广东省佛山市城西工业开发区长虹东路1号
国籍：CN
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