专利名称：一种硅片颗粒标准片的制备装置及其制备方法专利类型：发明专利
发明人：沈蓓颖,沈思情,张俊宝,陈猛申请号：CN201911311384.8申请日：20191218公开号：CN110813604A公开日：20200221
摘要：本发明提供了一种硅片颗粒标准片的制备装置及其制备方法，所述的制备装置包括基座以及分别设置在基座上的支架和滑台组件；所述的支架上设置有相连的传动件和固定件，所述的传动件用于带动固定件旋转，所述的固定件用于暂时固定硅片；所述的滑台组件上设置雾化装置，所述的雾化装置正对衬底片，所述的雾化装置用于向衬底片上喷涂标准颗粒溶液；所述的滑台组件用于带动雾化装置沿水平和/或竖直方向独立移动调整喷涂位置。本发明提供的装置具有结构简单、操作方便快捷和成功率高的特点；提高成功率就能降低制备的成本，同时，操作方便可降低对制备人员的要求。
申请人：上海超硅半导体有限公司,重庆超硅半导体有限公司
地址：201617 上海市松江区石湖荡镇双金路258弄158号
国籍：CN
代理机构：北京品源专利代理有限公司
代理人：巩克栋
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