专利名称：数字相移点衍射干涉仪及光学系统波像差测量方法专利类型：发明专利发明人：戴凤钊,王向朝,唐锋申请号：CN201510256096.2申请日：20150519公开号：CN105092056A公开日：20151125
摘要：一种数字相移点衍射干涉仪及光学系统波像差测量方法，该干涉仪由光源、小孔掩模、第一空间光调制器、第二空间光调制器、二维光电探测器及计算机组成，通过计算机将第一空间光调制器设置为光栅，作为分光器件，将第二空间光调制器设置为针孔窗口掩模，作为滤波器件，滤除除0级与+1(或-1)级以外的衍射级次，使0级光通过针孔发生衍射产生准理想球面波作为参考光
波，+1(或-1)级光通过窗口作为物光波，两者发生干涉，获取干涉图，从干涉图中提取待测光学系统波像差。本发明物光和参考光在像面汇聚点之间的距离可调，在不降低干涉条纹对比度的情况下实现较大的干涉条纹密度。
申请人：中国科学院上海光学精密机械研究所
地址：201800 上海市嘉定区上海市800-211邮政信箱
国籍：CN
代理机构：上海新天专利代理有限公司
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容