专利名称：一种波长调谐相移点衍射干涉测量装置及其方法专利类型：发明专利
发明人：张海涛,马冬梅,金春水申请号：CN201310346391.8申请日：20130809公开号：CN103398655A公开日：20131120
摘要：一种波长调谐相移点衍射干涉测量装置及其方法属于基于相移点衍射干涉仪的光学元件面形检测装置及方法领域，该装置包括可调谐激光光源模块、点衍射干涉模块和控制系统，可调谐激光光源模块包括可调谐激光器、第一分光镜、第二分光镜、波长计和功率计。点衍射干涉模块包括光束调整镜组、针孔板、干涉仪成像镜组和CCD相机。控制系统包括可调谐激光器控制模块、CCD相机采集控制模块和主控计算机。该装置利用波长调谐的激光器实现移相并完成相移点衍射干涉测量，无需采用压电陶瓷相移器（PZT）或利用压电陶瓷移动角锥反射镜等机械移动部件进行移相，克服了机械移相装置制作难度大、成本高以及因机械移相装置自重引入应力形变误差的技术问题。
申请人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
地址：130033 吉林省长春市东南湖大路3888号
国籍：CN
代理机构：长春菁华专利商标代理事务所
代理人：田春梅
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