专利名称：非晶硅薄膜太阳能PECVD芯片清洁装置专利类型：实用新型专利发明人：王有峰
申请号：CN201520217738.3申请日：20150413公开号：CN204558508U公开日：20150812
摘要：本实用新型涉及一种非晶硅薄膜太阳能PECVD芯片清洁装置。本非晶硅薄膜太阳能PECVD芯片清洁装置，安装于传动线上方，该清洁装置包括：外壳；设于外壳左右两侧的两个感应器；设于外壳下方的支架；安装于外壳左上方的抽风机；安装于外壳内的风刀管；安装于外壳外部、通过管路连接风刀管的吹风机；安装于外壳内、用于控制抽风机和吹风机工作的控制开关。本实用新型，设计科学、使用方便，可有效降低因硅粉等异物导致PVD成膜质量变差的影响，且不会损坏芯片膜面，减少红色透空产生的几率，进而产品的电性能及提高产品良率。
申请人：山东禹城汉能薄膜太阳能有限公司
地址：251200 山东省德州市禹城市高新区振兴大道汉能光伏产业园
国籍：CN
代理机构：济南泉城专利商标事务所
代理人：郭禾苗
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