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一种全自动离子束刻蚀机

2022-02-15 来源:易榕旅网
(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)实用新型专利

(21)申请号 CN201820082690.3 (22)申请日 2018.01.18

(71)申请人 东莞市鸿村环保设备制造有限公司

地址 523000 广东省东莞市长安镇新民社区兴隆街28号厂房首层

(10)申请公布号 CN208315502U

(43)申请公布日 2019.01.01

(72)发明人 周杰海

(74)专利代理机构 东莞市浩宇专利代理事务所(普通合伙)

代理人 陈凯玉

(51)Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

(54)发明名称

一种全自动离子束刻蚀机

(57)摘要

本实用新型公开了一种全自动离子束刻蚀

机,包括矩形板、横臂、纵杆、转动盘、离子放射管、圆形夹板和底座,所述矩形板表面上加工有横向凹槽和纵向凹槽,且横向凹槽的槽面与横臂的端面相配合,所述横臂上安装有滑动套杆,且横臂和滑动套杆活动连接,所述滑动套杆上固定安装有纵杆,且滑动套杆正下方平行设置有转动盘,转动盘的轴线与纵杆的轴线相重合,所述转动盘与连接模块固定相连,且转动盘与连接模

块的上端面位于同一平面上,所述矩形板固定于壳体的内表面,所述壳体内表面的底部设置有底座,底座上放置有待刻蚀玻璃,且底座表面与横臂平行。本实用新型提高了对大型玻璃刻蚀的效率,具有结构简单、使用方便、使用效果好的优点。

法律状态

法律状态公告日2019-01-01

法律状态信息

授权

法律状态

授权

权利要求说明书

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说明书

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