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芯片封装方法及封装结构

2022-05-01 来源:易榕旅网
(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(21)申请号 CN201410041992.2 (22)申请日 2014.01.28

(71)申请人 苏州晶方半导体科技股份有限公司

地址 215021 江苏省苏州市苏州工业园区汀兰巷29号

(10)申请公布号 CN103779245A

(43)申请公布日 2014.05.07

(72)发明人 王之奇;杨莹;王蔚

(74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司

代理人 骆苏华

(51)Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

(54)发明名称

芯片封装方法及封装结构

(57)摘要

一种芯片封装方法及封装结构,所述芯片

封装方法包括:提供基底,所述基底包括:衬底和衬底表面的客户层,所述客户层的表面为第一表面,与所述第一表面相对的衬底表面为第二表面,所述客户层内形成有若干焊垫;刻蚀基底的第二表面,形成第一凹槽,所述第一凹槽底部暴露出若干焊垫及部分客户层的表面;在第一凹槽内壁表面形成绝缘层;形成第二凹槽,第二凹槽沿焊垫的排列方向,依次贯穿相邻焊垫以及相邻

焊垫之间的客户层;在第一凹槽、第二凹槽以及绝缘层表面形成布线金属层;在所述布线金属层表面形成阻焊层,阻焊层内具有开口,开口暴露出部分布线金属层的表面;在开口内形成位于布线金属层表面的焊球。上述封装方法可以提高封装结构的可靠性。

法律状态

法律状态公告日2014-05-07 2014-06-11 2016-09-28

法律状态信息

公开

实质审查的生效 授权

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实质审查的生效 授权

权利要求说明书

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说明书

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