(12)发明专利申请
(21)申请号 CN201410041992.2 (22)申请日 2014.01.28
(71)申请人 苏州晶方半导体科技股份有限公司
地址 215021 江苏省苏州市苏州工业园区汀兰巷29号
(10)申请公布号 CN103779245A
(43)申请公布日 2014.05.07
(72)发明人 王之奇;杨莹;王蔚
(74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 骆苏华
(51)Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
(54)发明名称
芯片封装方法及封装结构
(57)摘要
一种芯片封装方法及封装结构,所述芯片
封装方法包括:提供基底,所述基底包括:衬底和衬底表面的客户层,所述客户层的表面为第一表面,与所述第一表面相对的衬底表面为第二表面,所述客户层内形成有若干焊垫;刻蚀基底的第二表面,形成第一凹槽,所述第一凹槽底部暴露出若干焊垫及部分客户层的表面;在第一凹槽内壁表面形成绝缘层;形成第二凹槽,第二凹槽沿焊垫的排列方向,依次贯穿相邻焊垫以及相邻
焊垫之间的客户层;在第一凹槽、第二凹槽以及绝缘层表面形成布线金属层;在所述布线金属层表面形成阻焊层,阻焊层内具有开口,开口暴露出部分布线金属层的表面;在开口内形成位于布线金属层表面的焊球。上述封装方法可以提高封装结构的可靠性。
法律状态
法律状态公告日2014-05-07 2014-06-11 2016-09-28
法律状态信息
公开
实质审查的生效 授权
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权利要求说明书
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说明书
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