激光测量技术在机床线性误差测量中的应用分析

２０１６年２月　第３５卷第２期　洛阳师范学院学报　Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ｌｕｏｙａｎｇ　Ｎｏｒｍａｌ　Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ　Ｆｅｂ．。２０１６　Ｖｏｌ｜３５　Ｎｏ．２　激光测量技术在机床线性误差测量中的应用分析　朱晓利　一，宋　艳　，魏二平４，毛翠丽５　（１．河南理工大学电气工程与自动化学院，河南焦作４５４０００；２．济源职业技术学院机电工程系，河南济源４５９０００；　３．河南林业职业技术学院，河南洛阳４７１００２；４．河南中光学集团有限公司，河南南阳４７３００３；　５．南阳理工学院机械与汽车工程学院，河南南阳４７３００４）　摘要：为消除数控机床在长期使用中定位精度和重复定位精度降低的现象，并对机床进行精度检测及误差　补偿，以ＺＪＫ７５３２Ａ机床精度的检测为例，采用激光干涉仪对机床的线性误差和角度误差进行研究．通过调整　光路、搭建环境补偿以及设置软件参数等完成对系统的总体调试，进而通过Ｌａｓｅｒ　ＸＬ软件采集测量数据．根据　测量结果分析得出，该ＺＪＫ７５３２Ａ华中数控钻铣床的精度已经超出机床允许的误差范围，需要进行误差方面的　修整，最后分析了激光干涉仪测量误差的来源．　关键词：激光干涉仪；角度测量；线性测量；误差分析　中图分类号：ＴＧ６５９；ＴＨ７４４．３　文献标识码：Ａ　文章编号：１００９—４９７０（２０１６）０２—００３７—０５　２０世纪中期数控机床诞生以来，机床加工精　度有了质的飞越．现代机床仪器设备精密度和准确　度较高，但是因为存在几何误差和标尺误差，还是　会产生较小的定位误差．为了使生产车间达到高质　量和提高生产率的目的，就需要对机床进行快速、　动态的校准，以求得最好的性能，校准过程必须精　确　一　．　近代，由于激光技术的出现与发展，光波干涉　床及三坐标测量机位置精度和几何精度的评价与标　定，并被设计得便携、易于调整和方便使用．该系　统由光学组件和设备组成，并可配置成各种不同应　用组合．激光干涉仪基本系统包括：ｘＬ＿８Ｏ激光　头（带三角架）及相应的光学器件．光学器件可按测　量应用种类的要求分组任选．ｘＣ一８０环境补偿单　元也是任选件，它可在线性位置精度测量中连续自　动补偿周围环境条件的变化．　１．２测量评定方法　法逐渐普及并发展成为工业生产与科学研究中精密　测量的主要手段之一．激光测量技术不仅是目前在　几何量测量方法中最常用的一种方法，还在机床精　度调整过程中起着相当重要的作用，它采用光电转　换、条纹计数等适于非接触测量及自动测量的方法　来测量长度，具有量程大、速度快、精度高等优点．　依据ＧＢ／Ｔ１７４２１．２＿２０００标准，本次测量采用　线性循环采集的数据采集方式，测量时采用沿着机　床轴线方向快速移动的移动方式，在正负两个方向　上重复移动五次，用运动部件达到的实际位置减去　目标位置之差，测量出每个目标位置的偏差．最后　采用双向计算方法测量机床的位置精度．　假设目标位置和实际位置分别为Ｐ　和Ｐ¨下　标ｉ表示移动目标位置中的指定位置，下标　表示　在机床误差测量与校正中，由于激光干涉仪具　有测量精度高、测量方法相对完善及测量技术相对　成熟的特点，用激光干涉仪检测数控钻铣床线性、　角度误差并进行误差补偿，对提高其加工精度具有　重要意义．　第．　次向第ｉ个目标位置移动时实际到达的位置．　则目标位置偏差为　＝１　Ｒｅｎｉｓｈａｗ激光干涉仪系统及测量方法　正、负方向目标位置分别为　Ｔ、　１．１激光干涉仪系统　Ｐ　一Ｐ　（１）　；目标位置　的单向平均位置偏差置Ｔ或置ｌ为：　雷尼绍（Ｒｅｎｉｓｈａｗ）激光干涉仪系统主要用于机　收稿日期：２０１６—０２—０１　作者简介：朱晓利（１９８０一），女，河南濮阳人，在读硕士，助教．研究方向：电学、电子科学与技术　·３７·　洛阳师范学院学报２０１６年第２期　置』，＝÷∑　Ｊｒ　Ｊ　１　（２）　绿色曲线代表机床沿ｘ轴正向运行采集到的数据，　蓝色曲线代表机床沿ｘ轴负向运行采集到的数据，　置Ｔ＝　∑Ｘ　ｔ　（３）　目标位置的反向偏差Ｂ　为　Ｂ　＝Ｘ　ｆ一置　（４）　沿轴线或绕轴线各个目标位置的反向偏差的绝　对值Ｉ曰　Ｉ中的最大值Ｂ＝ｍａｘ［Ｉ　Ｉ］．　目标位置的单向定位标准不确定度的估算值Ｓ　ｔ或Ｉｓ　为　。。：　厂　——　———————一　Ｓｉ　Ｔ　√　（　Ｔ　Ｔ）　（５）　厂　——　—————■二二＿一　Ｓｉ』，　√　（　Ｊ，一Ｘｉ　Ｊ，）。　（６）　轴线单向定位精度Ａ　Ｔ或　可表示为：　Ａ　Ｔ＝ｍａｘ（Ｘｉ　Ｔ＋２Ｓ　Ｔ）一ｍｉｎ（置Ｔ一２．ｓ　ｆ）（７）　Ａ　＝ｍａｘ（Ｘｉ　Ｔ＋２Ｓ　Ｊ，）一ｒｆ（１ｎ（Ｘｉ　一２５　Ｊ，）（８）　２　激光干涉仪在线性测量中的应用分析　２．１线性测量数据采集与分析　机床的定位精度与重复精度数据见图１．其中，　平均位置偏差　重复精度（ｔ）　目标（毫米）　囊舯｝０Ｏｌ　｝熏蚴羞Ｅ：　０１０１６８０　｝定位■度Ａｔ　０．１０４；１５１　｛　Ｂ期ｌ　２０ｌ３—０５＿１６１４：Ｍｌ　０４　｝单向Ｉｔ蔓Ｒｔ　０．００￣９　定位糟度Ａ　ｏ１０２０７１　；　轴：＾　｝单向ｌｔ蔓Ｒ　０．００４＃７５　；定位●啦Ａ　ｓ　ｏ１０４２５１　｝　图１　Ｘ轴线性测量ＧＢ／ＴＩ７４２１．２＿２０００三合曲线　·３８·　红色曲线代表正负两个方向平均位置偏差的平均　值．根据ＧＢ／Ｔ１７４２１．２＿２０００评定标准，由以上数　据曲线图分析结果可以知道，ＺＪＫ７５３２Ａ华中数控　钻铣床ｘ轴的正向定位精度为１０４．２５１Ｉ．Ｌｍ，单向重　复精度为３．４５９１．Ｌｍ；机床ｘ轴的负向定位精度为　１０２．０７１Ｉｘｍ，单向重复精度为４．９７５１．￣ｍ；机床ｘ轴　的定位精度为１０４．２５１　ｍ．　ＺＪＫ７５３２Ａ华中数控钻铣床的精度要求为　２０ｐ￣ｍ，此处经过以上数据分析，机床的ｘ轴线性　误差不符合规定范围．用同样的方法可分析出机床　的Ｙ轴和ｚ轴的定位精度，从而分析出机床的线性　误差是否符合规定范围．　２．２环境补偿的必要性　由图２和图３可知，ｘＣ—８０环境补偿单元对　时．问气气对料料料胀爨　２差相材材材膨　空气温度、空气气压、相对湿度、材料温度等进行　温气湿温温温委度压度度度度列熬　～　雷尼绍激光干涉仪系统　…一…＿环境数据到衷，，．…，，　…　…一，…一……，一一，　一，～　模式：线性位移　文件：ｍｆＯＯ１．ｒｔＬ　趋晶　；２釉蠼名称：Ｚ０１３－Ｊ０Ｋ５－７５１３６２　１Ａ４　：　：　蕃警覆叠　系列号：０ｏ！　：ｘ　测量位置：　０　ｍｅＤｇ　……橱题　一　＿轴缘性测量…　。…　…一，　………　…　一…．～．一…　………　数据，…一　………一…，一　开始　一　………、赞束　．　，．．一　单位一　％　～　图２　ｘ轴线性测量环境数据列表　误差补偿图表　雷屉绍激光干涉仪系统　孤抛Ａ日期：　２０１３－０５－　１６　１４：２４：０４　：　：萎罄看　ｚｈｏ　ｕｍｅｎｇｆｅｉ釉：ｘ　标题：ｘ轴线性测量文件名：ｍｆ■但置：　０　Ｏ０１．ｒｔＬ　；｝霍羹　｛ｌｌ券　焉鐾吝向分项图表　增量值正负符号转换（霉奏换（率　　）＋／－）ｏ．误差值　一．误差值　ｏｏｌｔ￣　　；补偿终点　补偿间隔　ｃ鏊熹　是　二０ｏ５　ｏ　。ｏ。ｏ２器　米　．０．ｏｏｏｏ毫米　髦　轴线位置　反向机进方向　（毫米）　（０．００１毫米）　—３５Ｏ．Ｏ０００　ｌ　—３００．ＯＯ００　９　－２５０．０Ｉ）００　１８　—２０ｏ．０００Ｏ　２２　－１５０．ｏｏ００　８　一ｌ００．ＯＯ０ｏ　ｌ７　－５０．ＯＯＯＯ　２０　０．０Ｏ００　４　图３　ｘ轴线性测量误差补偿图表　洛阳师范学院学报２０１６年第２期　了补偿，激光干涉仪系统对机床在Ｘ轴方向运行中　各个数据采集点正反向进行了误差补偿，其补偿数　据如图３所示．　精度为９５．０１弧秒．用同样的方法可得出Ｙ轴的　正、负向定位精度和单向重复精度，根据得出的分　析结果，结合机床的规定精度值判断机床的整体误　差是否超出规定的范围，机床是否需要进行误差方　面的修整．　通过对有无进行环境补偿测得的结果进行对比　分析可知，有环境误差补偿时，机床的各个方向的　单向定位精度与重复定位精度以及机床的定位精　度，其数值都要比没有环境误差补偿时小很多．通　由以上综合分析结果可知，机床的整体误差超　出了规定的范围，机床需要进行误差方面的修整．　过这些对比数据也可以看出，在线性测量中环境补　偿的必要性．有环境补偿时，空气温度、相对湿度、　材料温度、环境参数等数值在测量开始与结束时是　不同的，因为系统对其进行了补偿，在机床运行　时，系统的误差补偿数值也相对较小．　３激光干涉仪在角度测量中的应用分　析　机床的定位精度与重复精度数据如图４所示．　其中，绿色曲线代表机床沿ｘ轴正向运行采集到的　数据，蓝色曲线代表机床沿ｘ轴负向运行采集到的　数据，红色曲线代表正负两个方向平均位置偏差的　平均值．　重复精度（　）　ｘ轴角度测量　Ｏ　—ｌＯ　－２０　—３Ｏ　一４０　－５０　—６０　—７Ｏ　一８Ｏ　平均位置偏差　Ｏ　鬻　—８０　Ｏ　－１０　—２Ｏ　－３０　—４０　－５０　—６Ｏ　一７Ｏ　－８０　馨　莓　竺　＝＝！　兰：：嫠鼙　嚣　篓　ｊ遴器勰　：　ｔ　…　　ｌ图４　Ｘ轴角度测量ＧＢ／Ｔ１７４２１．２＿２０００三合曲线　根据ＧＢ／Ｔ１７４２１．２＿２０００标准，由数据曲线图　分析结果可知，ＺＪＫ７５３２Ａ华中数控钻铣床的ｘ轴　正向定位精度为８５．９Ｏ弧秒，单向重复精度为　４０．３２弧秒；机床ｘ轴的负向定位精度为８８．９０弧　秒，单向重复精度为４２．２４弧秒；机床ｘ轴的定位　４激光干涉仪测量的误差分析　４．１环境误差　激光干涉仪测试时对测试环境的要求非常严　格，要求测试环境为恒温环境，并且尽量避免空气　流动．测试前，需将机床开机运行大概３０分钟，使　机床的各个部件达到热稳定状态，并且各进给轴处　于较好润滑效果，避免润滑不均造成测试精度的降　低　“－１７１．　激光光束的波长精度决定了激光干涉仪的最佳　测量精度．而激光光束的波长不但由激光的稳定性　决定，而且跟该激光光束穿过空气时的空气折射率　有关，这里空气折射率主要由空气的气温、气压及　相对湿度决定．　气温、气压和相对湿度的变化等会对激光光束　在空气中的波长有较大的影响．在测量时，如果不　对激光波长的变化进行补偿，激光线性测量误差最　大可达到５０ｐｐｍ．即使在温度受控的房间内，日常　的空气压力变化也可能使波长变化达２０ｐｐｍ以上．　可导致１ｐｐｍ误差的每项环境条件的变化参考如　下：空气温度：１。Ｃ（１．８。Ｆ）；空气压力：３．３ｍｂａｒ　（０．０９８ｉｎＨｇ）；相对湿度（２０。ｃ时）：５０％；相对湿　度（４０。Ｃ时）：３０％．　这些值是在最恶劣条件下的影响值，在其它参　数值变化的情况下也会随之变化，为减小这些误差　可采用环境补偿法．　４．２死程误差　死程误差是一种在线性测量期间与周围的环境　变化有关的误差，产生于在定零点位置的过程中，　其值等于固定光学镜组与移动光学镜组之间的距　离．一般情况下死程误差值很小，仅出现在测量期　间发生环境变化时和清零后．　图５表示了路径Ｌ２的激光测量的死程误差图．　死程误差与系统在Ｌ　上清零时两个光学组件之间　的距离有关，如果干涉镜与反射镜之间的距离没有　变化，而激光光束的环境条件发生变化，则在整个　·３９·　侧视图　干涉仪（静止光学镜）　图５死程误差图　光路（Ｌ　＋Ｌ２）上激光光束的波长将发生变化，但　是仅在Ｌ’距离上激光测量系统得到补偿．由于光　束路径Ｌ　未得到补偿，从而产生死程测量误差．　为了尽量减小死程误差，可以在清零时将固定　光学镜组和移动光学镜组彼此相接．测量时，尽可　能在光学镜组彼此靠近时将激光清零，如果激光清　零时光学组件之间的距离在ｌＯｍｍ之内，那么在正　常条件下死程误差很小可以忽略不计．　４．３阿贝偏置误差　阿贝偏置误差产生于当光束与预定校准轴平　行，但有一个偏置角度的情况下，此时的机器角度　误差（例如俯仰或扭摆）会引起该误差，如图６所　示．　一　ｉ　ｌｌ　　加长～　３Ｉ　　偏置（　ｏｏｍｍ）　ｉ；　＼Ｉ　　扭摆角度　ｌ　＼　（５弧秒）　图６阿贝偏置误差图　当激光测量光束与需要校准的线重合（或尽量　靠近）时，可以减少阿贝偏置误差的影响．比如，对　激光测量光束进行准直，使之靠近主轴中心线，可　以校准车床主轴的线性定位精度，从而降低机床扭　摆或俯仰误差对线性测量的影响．如果角度不变，　就不会引起Ａｂｂｅ误差，因为系统的运行是以相对　测量为基础的，而移动光学镜组将比“支点”领先　（或滞后）一个相同的距离¨　坶　．　由此可以看出，在运用激光干涉仪进行线性与　角度测量时，为了得到准确数据，要尽可能地减少　镜组安装误差，并进行环境补偿，以便使外界干扰　减到最低．　４．４余弦误差　当激光测量系统的光路调整光束路径与运动坐　标轴未对准时会导致测量的距离和实际的距离之间　·４０·　洛阳师范学院学报２０１６年第２期　产生一个误差，由于该误差与１一ＣｏｓＯ成正比，所　以该误差通常称为余弦误差．０为激光光束同运动　坐标轴线之间的误差夹角．　在测量时要进行光路的细调校准，以在测量坐　标全程上获得尽可能恒定的信号读数强度，然后微　转激光头，使测量读数值最大，由此来是余弦误差　减至最小．　５　结语　在搭建完激光干涉仪系统后调光时，一定要调　整好激光准直，否则机床运行一段距离后信号就会　快速变弱至无法接收到信号．激光光束准直调整得　好，信号灯就会出现全满状态，即五个信号灯全为　绿色，测量过程中信号也不会变弱以至于无法采集　到数据．此外，在进行线性测量时，由于激光波长　容易受到外界条件的干扰，还要利用环境补偿单元　对其进行补偿，使激光波长保持不变．　参考文献　［１］曹利波．利用激光干涉仪对机床定位精度的快速检测　［Ｊ］．外与激光工程，２００８（３７）：２００．　［２］孙程成，王垄．基于激光干涉仪的数控机床定位精度检　测与误差补偿方法［Ｄ］．上海：上海航天精密机械研究　所，２０１０：９０—９３．　［３］于迎红．激光干涉仪线性光束准直的快速调整方法［Ｊ］．　计量技术，２００６（９）：６６—６７．　［４］吴小川．应用双频激光干涉仪检验数控机床定位精度　［Ｊ］．机械工程学报，２０１１，１（５）：４５—４９．　［５］王正平．机床几何精度的在线激光测量与快速校准技术　［Ｊ］．中国计量学院学报，２００６，１７（４）：２６１—２６２．　［６］刘戈峰，李朝国，李玉文．激光干涉仪测量数控机床位　置精度［Ｒ］．沈阳科学学术年会，２０１１：６４—６６．　［７］胡凤兰．互换性与技术测量基础［Ｍ］．２版．北京：高等　教育出版社，２０１０．　［８］张小勤．数控机床定位精度的测试的探讨［Ｊ］．茂名学　院学报，２０１０，２０（４）：３２—３５．　［９］周汉辉．如何提高数控机床定位精度一激光干涉仪常见　测试曲线［Ｊ］．新技术新工艺，２００７（１２）：７１—７３．　［１Ｏ］郭然．雷尼绍与多普勒激光干涉仪测量方法比较［Ｊ］．　机电工程，２０１０（９）：５３—５４．　［１１］杨永生．数控机床几何误差检测补偿技术［Ｊ］．自动化　应用，２０１１（７）：２２—２５．　［１２］张虎，周云飞，唐小琦，等．数控机床定位误差的软件　补偿［Ｊ］．华中科技大学学报，２００１（４）：４７—４９．　［１３］倪军．数控机床误差补偿的研究及展望［Ｊ］．中国机械　工程，２００９（１）：４３—４７．　洛阳师范学院学报２０１６年第２期　［１４］李瑜，崔志恒．基于激光干涉仪的机床精度检测及误　北京工业大学，２０１１．　差补偿创新实验设计［Ｊ］．实验技术与管理，２０１２，２９　（３）：４９—５１．　［１８］刘焕牢．数控机床几何误差测量及误差补偿技术的研　究［Ｄ］．武汉：华中科技大学，２０１０．　［１５］曹永洁．基于激光测试技术的数控机床误差识别与补　偿研究［Ｄ］．杭州：浙江大学，２０１２．　［１６］鲁志政．数控机床误差的辨识新方法研究及补偿应用　［Ｄ］．上海：上海交通大学，２０１２．　［１７］卢少卿．数控机床通用误差补偿技术研究［Ｄ］．北京：　［１９］司卫征，周伦彬．数控机床手动补偿误差的方法研究　［Ｊ］．中国测试，２０１０，１（３６）：１２—１５．　［责任编辑王保玉］　Ａｎａｌｙｓｉｓ　ｏｆ　ｔｈｅ　Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ　ｏｆ　Ｌａｓｅｒ　Ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　ｉｎ　ｔｈｅ　Ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ　ｏｆ　Ｌｉｎｅａｒ　Ｅｒｒｏｒ　ｏｆ　Ｍａｃｈｉｎｅ　Ｔｏｏｌ　ＺＨＵ　Ｘｉａｏ—ｌｉ　，ＳＯＮＧ　Ｙａｎ　，ＷＥＩ　Ｅｒ—ｐｉｎｇ　，ＭＡＯ　Ｃｕｉ—ｌｉ　１．Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ　ｏｆ　Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ　Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ　ａｎｄ　Ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ，Ｈｅｎａｎ　Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ　ｏｆ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，　Ｊｉａｏｚｕｏ　４５４０００，Ｃｈｉｎａ；２．Ｄｅｐａｒｔｍｅｎｔ　ｏｆ　Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　ａｎｄ　Ｅｌｅｃｔｉｃａｌｒ　Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｊｉｙｕａｎ　Ｖｏｃａｔｉｏｎａｌ　ａｎｄ　Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ　Ｃｏｌｌｅｇｅ，Ｊｉｙｕａｎ　４５９０００，Ｃｈｉｎａ；３．Ｈｅｎａｎ　Ｆｏｒｅｓｔｒｙ　Ｖｏｃａｔｉｏｎａｌ　Ｃｏｌｌｅｇｅ，Ｌｕｏｙａｎｇ　４７１００２，Ｃｈｉｎａ；４．Ｈｅｎａｎ　Ｏｐｔｉｃａｌ　Ｇｒｏｕｐ　Ｃｏ．，Ｌｔｄ．，Ｎａｎｙａｎｇ　４７３００３，Ｃｈｉｎａ；　５．Ｎａｎｙａｎｇ　Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ　ｏｆ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　ｏｆ　Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　ａｎｄ　Ａｕｔｏｍｏｔｉｖｅ　Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｎａｎｙａｎｇ　４７３００４，Ｃｈｉｎａ）　Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｉｎ　ｏｒｄｅｒ　ｔｏ　ｅｌｉｍｉｎａｔｅ　ｔｈｅ　ｐｈｅｎｏｍｅｎｏｎ　ｏｆ　ａｃｃｕｒａｃｙ　ｄｅｃａｙ　ｉｎ　ｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇ　ａｎｄ　ｒｅｐｅａｔｅｄ　ｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇ　ｗｉｔｈ　ＮＣ　ｍａｃｈｉｎｅ　ｔｏｏｌｓ　ｉｎ　ｔｈｅ　ｌｏｎｇ－ｔｅｒｍ　ｕｓｅ，ａｎｄ　ｐｅｒｆｏｒｍ　ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ　ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ　ａｎｄ　ｅｒｒｏｒ　ｃｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎ，ＺＪＫ７５３２Ａ　ｍａ—　ｃｈｉｎｅ　ｔｏｏｌ　ａｃｃｕｒａｃｙ　ｉｓ　ｔａｋｅｎ　ａｓ　ａｎ　ｅｘａｍｐｌｅ，ｔｈｅ　ｌｉｎｅａｒ　ｅｒｒｏｒ　ａｎｄ　ａｎｇｌｅ　ｅｒｒｏｒ　ｏｆ　ｔｈｅ　ｍａｃｈｉｎｅ　ｔｏｏｌ　ｉｓ　ｓｔｕｄｉｅｄ　ｕｓｉｎｇ　ｌａ—　ｓｅｒ　ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒ．Ｂｙ　ａｄｊｕｓｔｉｎｇ　ｔｈｅ　ｏｐｔｉｃａｌ　ｐａｔｈ，ｓｅｔｔｉｎｇ　ｕｐ　ｔｈｅ　ｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔａｌ　ｃｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎ　ａｎｄ　ｓｅｔｔｉｎｇ　ｓｏｆｔｗａｒｅ　ｐａｒａｍｅｔｅｒｓ，ｔｈｅ　ｏｖｅｒａｌｌ　ｄｅｂｕｇｇｉｎｇ　ｏｆ　ｔｈｅ　ｓｙｓｔｅｍ　ｉｓ　ｉｍｐｌｅｍｅｎｔｅｄ　ａｎｄ　ｔｈｅ　ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ　ｄａｔａ　ｈａｖｅ　ｂｅｅｎ　ｏｂｔａｉｎｅｄ　ｗｉｔｈ　Ｌａｓｅｒ　ＸＬ　ｓｏｆｔｗａｒｅ．Ａｃｃｏｒｄｉｎｇ　ｔｏ　ｔｈｅ　ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ　ｒｅｓｕｌｔｓ，ｔｈｅ　ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ　ｏｆ　ｔｈｉｓ　ＺＪＫ７５３２Ａ　ＮＣ　ｄｒｉｌｌｉｎｇ　ａｎｄ　ｍｉｌｌｉｎｇ　ｍａｃｈｉｎｅ　ａｃｃｕｒａｃｙ　ｈａｓ　ｅｘｃｅｅｄｅｄ　ｔｈｅ　ａｌｌｏｗａｂｌｅ　ｍａｃｈｉｎｅ　ｔｏｏｌ　ｅｒｒｏｒ　ｒａｎｇｅ，ｅｒｒｏｒ　ａｄｊｕｓｔｍｅｎｔ　ｉｓ　ｎｅｅｄｅｄ．Ｉｎ　ｔｈｅ　ｅｎｄ，ｔｈｅ　ｓｏｕｒｃｅ　ｏｆ　ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ　ｅｒｒｏｒ　ｗｉｔｈ　ｌａｓｅｒ　ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒ　ｉｓ　ａｎａｌｙｚｅｄ．　Ｋｅｙ　ｗｏｒｄｓ：ｌａｓｅｒ　ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒ；ａｎｇｌｅ　ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ；ｌｉｎｅａｒ　ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ；ｅｒｒｏｒ　ａｎａｌｙｓｉｓ