专利名称：压力传感器及其制造方法专利类型：发明专利发明人：汤姆·科瓦
申请号：CN201510666874.5申请日：20151015公开号：CN105527042A公开日：20160427
摘要：本发明公开了一种压力传感器组件，其包括：三个堆叠的硅片，所述硅片形成支撑件、传感器以及盖，其中所述传感器包括腔体，所述腔体从所述传感器的底部朝所述传感器的顶部向上延伸，以形成腔体底部和膜片；电介质层，其覆盖所述传感器的底部和所述腔体，并且其中所述支撑件沿所述传感器的底部耦合至所述电介质层；位于所述腔体的限定区域内的所述支撑件的顶部上的多个端口，所述多个端口延伸穿过所述支撑件至其底部，并且其中所述盖被耦合至所述传感器的顶部，覆盖所述膜片；以及，切入所述盖的底部的第二腔体，其中所述第二腔体的尺寸及位置被设置成包围所述膜片。
申请人：浙江盾安人工环境股份有限公司
地址：310052 浙江省杭州市滨江区西兴工业园聚园路8号
国籍：CN
代理机构：广州华进联合专利商标代理有限公司
代理人：郑小粤
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