一种单晶炉用连续加料装置[实用新型专利]

(12)实用新型专利

(10)授权公告号(10)授权公告号 CN 203462173 U(45)授权公告日 2014.03.05

(21)申请号 201320531636.X(22)申请日 2013.08.29

(73)专利权人河北晶龙阳光设备有限公司

地址055550 河北省邢台市宁晋县新兴北路

晶龙第三工业园(72)发明人边志坚 马辉东 赵京通 武建刚

杜彦玲 宋金宏 李润飞 王瑞贤侯颖(74)专利代理机构河北东尚律师事务所 13124

代理人王文庆(51)Int.Cl.

C30B 35/00(2006.01)

权利要求书1页 说明书3页 附图3页权利要求书1页 说明书3页 附图3页

(54)实用新型名称

一种单晶炉用连续加料装置(57)摘要

本实用新型涉及一种单晶炉用连续加料装置，包括料仓装置和输料装置，其特征在于：还包括料仓升降装置，所述的料仓装置固定在料仓升降装置上,所述的输料装置与竖直方向呈锐角固定在炉盖上，输料装置的出料口设置在炉体内，输料装置的入料口设置在炉体外，料仓装置的出料口设有料仓输料管并与输料装置的入料口通过真空隔离阀相连通。本实用新型的有益效果是：由于设置了料仓装置、输料装置和料仓升降装置，不用二次开炉即可独立实现硅料的贮存、称重、输送，还可实现不同重量的精确加料，可以进行多次循环投料，大大提高了工作效率、降低了生产成本。CN 203462173 UCN 203462173 U

权 利 要 求 书

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1.一种单晶炉用连续加料装置，包括料仓装置（1）和输料装置（2），其特征在于：还包括料仓升降装置（3），所述的料仓装置（1）固定在料仓升降装置（3）上,所述的输料装置（2）与竖直方向呈锐角固定在炉盖上，输料装置（2）的出料口设置在炉体内，输料装置（2）的入料口设置在炉体外，料仓装置（1）的出料口设有料仓输料管（4）并与输料装置（2）的入料口通过真空隔离阀（5）相连通。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用连续加料装置，其特征在于：所述的料仓装置（1）包括料仓护罩（6）、料仓（7）和称重计量装置（8），称重计量装置（8）设置在料仓（7）的正下方，料仓（7）和称重计量装置（8）套装在料仓护罩（6）内，料仓（7）的底部出料口处设有竖直方向的料仓输料管（4），在所述的料仓输料管（4）内从上到下依次交错设有多个向下倾斜的缓冲挡片（9）。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉用连续加料装置，其特征在于：所述的输料装置（2）包括炉内输料管（10）、输料管升降装置（11）和料管护罩（12），所述的炉内输料管（10）和输料管升降装置（11）套装在料管护罩（12）内，所述的炉内输料管（10）为两端封闭的输料管，炉内输料管（10）在侧壁上设有侧出料方式的开口作为出料口，所述的料管护罩（12）的侧壁上设有竖直方向的进料管（13）作为入料口，进料管（13）的上端与真空隔离阀（5）相连通，进料管（13）的下端与炉内输料管（10）的出料口相连通，所述的进料管（13）内从上到下依次交错设有多个向下倾斜的缓冲挡片（9），输料管升降装置（11）固定在料管护罩（12）的顶端并与炉内输料管（10）的上端相联接，所述的炉内输料管（10）可在输料管升降装置（11）的牵引下在料管护罩（12）内做上下移动。

4.根据权利要求3所述的一种单晶炉用连续加料装置，其特征在于：所述的输料管升降装置（11）包括固定在料管护罩（12）顶端的绕线器和联接炉内输料管（10）的钢丝绳，钢丝绳的一端与炉内输料管（10）的上端相固定，另一端与绕线器相固定。

5.根据权利要求2所述的一种单晶炉用连续加料装置，其特征在于：所述的料仓（7）和料仓输料管（4）的侧壁为双层结构，内层为高纯石英或单晶硅衬套。

6.根据权利要求1所述的一种单晶炉用连续加料装置，其特征在于：所述的料仓升降装置（3）为电动丝杆传动。

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说 明 书

一种单晶炉用连续加料装置

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技术领域

[0001]

本实用新型涉及单晶炉内部加料装置，尤其是一种单晶炉用连续加料装置。

背景技术

目前，随着硅基电池产品市场竞争的加剧，单晶硅的生产成本必须要继续降低才

能在市场竞争中占有一席之地，增加单次投料量是降低成本最容易操作的方法之一，这就需要在坩埚内硅料熔化后进行再次加料以提高单炉投料量和生产效率。目前采用的再次加料方式普遍加料在20Kg以内，需要二次打开炉腔来实现，存在硅料污染与操作风险，加料的重量只能一次性全部完成，没有计量加料功能，使生产能效降低。

[0002]

实用新型内容

[0003] 本实用新型的目的是提供一种不用二次开炉即可独立实现硅料贮存、称重、输送的单晶炉用连续加料装置。[0004] 为了完成上述目的，本实用新型采用的技术方案是：[0005] 一种单晶炉用连续加料装置，包括料仓装置和输料装置，还包括料仓升降装置，所述的料仓装置固定在料仓升降装置上,所述的输料装置与竖直方向呈锐角固定在炉盖上，输料装置的出料口设置在炉体内，输料装置的入料口设置在炉体外，料仓装置的出料口设有料仓输料管并与输料装置的入料口通过真空隔离阀相连通。[0006] 所述的料仓装置包括料仓护罩、料仓和称重计量装置，称重计量装置设置在料仓的正下方，料仓和称重计量装置套装在料仓护罩内，料仓的底部出料口处设有竖直方向的料仓输料管，在所述的料仓输料管内从上到下依次交错设有多个向下倾斜的缓冲挡片。[0007] 所述的输料装置包括炉内输料管、输料管升降装置和料管护罩，所述的炉内输料管和输料管升降装置套装在料管护罩内，所述的炉内输料管为两端封闭的输料管，炉内输料管在侧壁上设有侧出料方式的开口作为出料口，所述的料管护罩的侧壁上设有竖直方向的进料管作为入料口，进料管的上端与真空隔离阀相连通，进料管的下端与炉内输料管的出料口相连通，所述的进料管内从上到下依次交错设有多个向下倾斜的缓冲挡片，输料管升降装置固定在料管护罩的顶端并与炉内输料管的上端相联接，所述的炉内输料管可在输料管升降装置的牵引下在料管护罩内做上下移动。

[0008] 所述的输料管升降装置包括固定在料管护罩顶端的绕线器和联接炉内输料管的钢丝绳，钢丝绳的一端与炉内输料管的上端相固定，另一端与绕线器相固定。[0009] 所述的料仓和料仓输料管的侧壁为双层结构，内层为高纯石英或单晶硅衬套。[0010] 所述的料仓升降装置为电动丝杆传动。[0011] 本实用新型的有益效果是：由于设置了料仓装置、输料装置和料仓升降装置，不用二次开炉即可独立实现硅料的贮存、称重、输送，还可实现不同重量的精确加料，可以进行多次循环投料，大大提高了工作效率、降低了生产成本。

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说 明 书

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附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

[0013] 图2是图1中料仓装置的结构示意图。[0014] 图3是图1中输料装置的结构示意图。[0015] 图中，1、料仓装置，2、输料装置，3、料仓升降装置，4、料仓输料管，5、真空隔离阀，6、料仓护罩，7、料仓，8、称重计量装置，9、缓冲挡片，10、炉内输料管，11、输料管升降装置，12、料管护罩，13、进料管。

[0012]

具体实施方式

[0016] 本实用新型为一种单晶炉用连续加料装置，由于设置了料仓装置、输料装置和料仓升降装置，不用二次开炉即可独立实现硅料的贮存、称重、输送，还可实现不同重量的精确加料，可以进行多次循环投料，大大提高了工作效率、降低了生产成本。[0017] 下面结合附图对本实用新型做进一步说明。[0018] 具体实施例，如图1至图3所示，一种单晶炉用连续加料装置，包括料仓装置1和输料装置2，还包括料仓升降装置3，所述的料仓装置1固定在料仓升降装置3上，使料仓装置1可在料仓升降装置3上做上下移动从而方便加料,所述的输料装置2与竖直方向呈锐角固定在炉盖上，输料装置2的出料口设置在炉体内，输料装置2的入料口设置在炉体外，料仓装置1的出料口设有料仓输料管4并与输料装置2的入料口通过真空隔离阀5相连通，使得硅材料可在重力作用下从料仓装置1内经过料仓输料管4进入输料装置2内，再从输料装置2内进入炉体内完成材料的添加。[0019] 所述的料仓装置1包括料仓护罩6、料仓7和称重计量装置8，称重计量装置8设置在料仓7的正下方，可以实现材料的在线测量以达到精确控量的目的，料仓7和称重计量装置8套装在料仓护罩6内，料仓7的底部出料口处设有竖直方向的料仓输料管4，在所述的料仓输料管4内从上到下依次交错设有多个向下倾斜的缓冲挡片9，可以使硅材料从料仓7下落时得到缓冲，料仓7和料仓输料管4的侧壁为双层结构，内层为高纯石英或单晶硅衬套，避免了其他材料的造成的污染。

[0020] 所述的输料装置2包括炉内输料管10、输料管升降装置11和料管护罩12，所述的炉内输料管10和输料管升降装置11套装在料管护罩12内，所述的炉内输料管10为两端封闭的输料管，炉内输料管10在侧壁上设有侧出料方式的开口作为出料口，所述的料管护罩12的侧壁上设有竖直方向的进料管13作为入料口，进料管13的上端与真空隔离阀5相连通，进料管13的下端与炉内输料管10的出料口相连通，所述的进料管13内从上到下依次交错设有多个向下倾斜的缓冲挡片9，输料管升降装置11固定在料管护罩12的顶端并与炉内输料管10的上端相联接，所述的输料管升降装置11包括固定在料管护罩12顶端的绕线器和联接炉内输料管10的钢丝绳，钢丝绳的一端与炉内输料管10的上端相固定，另一端与绕线器相固定，当绕线器收放钢丝绳时可使炉内输料管10在料管护罩12内做上下移动。[0021] 单晶炉工作时，当需要对炉内添加材料时，可以用料仓升降装置3将料仓装置1降低，然后打开料仓护罩6，将材料加进料仓7内，关闭仓护罩6，然后再用料仓升降装置3将料仓装置1提升，将料仓输料管4与输料装置2的入料口通过真空隔离阀5相连通，调整料仓装置1内的气压，使得料仓装置1的气压与炉体内一致，打开真空隔离阀5，材料在重力

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说 明 书

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的作用下，从料仓7下落，进入料仓输料管4内，经过真空隔离阀5进入进料管13内，再从进料管13进入炉内输料管10的侧出料口，输料管升降装置11控制炉内输料管10下降，到达坩埚上方后，材料落入坩埚内完成材料的添加工作，材料添加完毕后，输料管升降装置11控制炉内输料管10上升到上限位后，关闭真空隔离阀5，单晶炉即可实现连续的加工工作，使得工作时不用二次开炉即可独立实现硅料的贮存、称重、输送，还可实现不同重量的精确加料，可以进行多次循环投料，大大提高了工作效率、降低了生产成本。

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说 明 书 附 图

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图1

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说 明 书 附 图

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图2

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说 明 书 附 图

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图3

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