蚀刻水洗作业规范(002)

 受控文件管制章 文件类别 文件编号 作业规范 YZ-WI-002 版 号 制定部门 V1.0 生产部 生效日期 2009年10月29日 蚀刻水洗作业规范 拟 制 日 期 审 核 日 期 批 准 日 期 修 订 内 容 记 录 页数 原文内容 修订结果 修订原因 版号 修订日期 修订者 批准者 受控文件管制章 文件类别 文件名称 作业规范 文件编号 YZ-WI-002 版 号 蚀刻水洗作业规范 页 次 V1.0 1/4 生效日期 2009年10月29日 一. 目的：规范工艺,确保蚀刻产品品质 二. 范围：ITO蚀刻 三. 定义： 四. 权责：蚀刻作业员严格按本规范操作 五. 作业内容： 1.生产设备的设定 1.1.生产设备 导电膜蚀刻及除油墨设备生产线分酸蚀、水洗、退膜、检查、超声波纯水清洗、强风吹干六段。酸蚀、碱蚀段带水洗部分。蚀刻线设备分别用于蚀刻ITO Film及ITO Glass。蚀刻线酸蚀段分一槽，ITO Film、ITO Glass酸蚀刻仅使用第一槽酸槽，碱蚀段分一槽, ITO Film、ITO Glass碱洗使用第三槽,各主要参数见下表。 1) 酸洗 表一、蚀刻线酸槽的参数的设置（ITO Film蚀刻） 类别 温度 浓度(N) 浸泡时 间（秒） Film 30-35 6.50-6.70 4秒 表二、蚀刻线酸槽参数的设置（ITO Glass蚀刻） 类别 温度 浓度(N) 浸泡时间(分) Glass 30-35 6.40-7.0 2分 a.蚀刻线酸液的设置温度、酸液的浓度随时间而调节。酸液的浓度每四个小时检测一次（具体时间：上午8：00-9：30、下午13：30-14：00，生产中参照实测浓度的变化去调整时间。并配合碱段同时测试电阻。电阻用万用表仪器测试，绝缘阻抗符合规格要求为标准。 b.酸液量要适中； c.酸液的浓度和酸槽时间参数的设定由于受到设备条件的限制，并非理想状态； d.使用过程中以实际品质检验为准 2) 碱洗(Glass) 表三 碱槽的参数设置 材 料 碱液浓度 侵泡时间 (秒) Glass 0.72-1.16N 50s 设置 温度 35±5℃ 备 注 a.浸泡时间,随碱液的浓度调节。以将材料上之耐酸油墨洗脱干净为原则。时间要与酸泡相配,比酸洗相同或稍快 b.碱液流量要适中 受控文件管制章 文件类别 作业规范 文件编号 YZ-WI-002 版 号 页 次 V1.0 2/4 生效日期 2009年10月29日 文件名称 蚀刻水洗作业规范 3) 超声波（ Glass） 材料 浓度 侵泡时间 (分) Glass 4)水洗 材料 第一槽(水压及速度) 纯水 3 超声波能量 5格 备 注 第二槽(水压及速度) 1.2(kg/cm2)；20档 0.7~0.8(kg/cm2)；10档 第二槽(水压及速度) 1.2(kg/cm2)；20档 0.7~0.8(kg/cm2)；10档 Glass 1.2(kg/cm2)；20档 Film 0.7~0.8(kg/cm2)；10档 1.2.到设定温度后(约30分钟),测试酸液及碱液的浓度,在规定范围内可进行生产。 2.溶液配制 2.1.酸液 1)Film蚀刻线：酸液配制方法: 配制比例: HCL盐酸 (36-38%) : H2O (纯水) 1 : 2 2) Glass蚀刻线酸液配制方法: 配制比例: HCL (36-38%) : H2O (纯水) 100 : 100 3)酸液的注意事项: a.不能将水加入酸中,否则极易爆炸。 b.HCL、不慎沾到皮肤上,应立即用水冲洗。 c.酸加入水中,速度不能快,必须慢慢加入。 d.整个过程在通风良好的环境中进行,并必须配带耐酸、碱手套、戴口罩及防护眼镜. 2.2.碱液 1) 配制比例: 氢氧化钠 : 纯水 NaOH (g) : H2O (ml) (分析纯) 2 : 50 (约2.0%) 注意: a)先将固体氢氧化钠(NaOH)尽量捣碎, 再用适量纯水溶解。 b)整个过程中, 需不停搅拌, 尽可能不让氢氧化钠沉淀结块。 c)搅拌速度适中, 不宜过快，防止液体飞溅。 2.3.纯水 1) 用精密PH试纸(5.0-8.0)测试, PH=6.5~7.0。 2) 开启排水阀及进水阀正洗水质电阻率(即混床电阻率)≧1MΩcm(1μs/cm),方可生产. 受控文件管制章 文件类别 作业规范 文件编号 YZ-WI-002 版 号 V1.0 3/4 文件名称 蚀刻水洗作业规范 页 次 生效日期 2009年10月29日 3.蚀刻作业顺序 3.1 玻璃蚀刻作业顺序 1) 根据《工程流程卡》确认来料的型号和数量， 2）戴好耐酸碱手套和防水鞋。 3) 从待蚀刻区双手拿住栏具两边提取整栏玻璃（如图1） 注：装蚀刻玻璃的栏具必须是能耐酸的朔料栏具。 4) 将整栏玻璃垂直放入清洗槽-1中，玻璃需完全放入酸液中，记录其时间。 5）蚀刻时间到将玻璃取出，放在清洗槽-1边缘至少20秒让酸液滴干净(如图2)。 6) 将整栏玻璃垂直放入水洗槽-1中，30秒后拿出，再放入清洗槽-2中过碱。 7) 等脱膜时间到，将玻璃拿出放在清洗槽-2边缘至少20秒让碱液滴干净。 8) 将玻璃放入水洗槽-2中，30秒后拿出，然后将玻璃放入超声波槽中。 9) 过超声时间到将玻璃拿出依次放入水洗槽-3，水洗槽-4中各30秒，然后将整栏玻璃拿出放入待清洗区等待清洗。 10) 清洗投料时ITO面朝上，大角在右下，材料之间间距保持在400mm以上。 3.2 Film蚀刻作业顺序 1) 根据《工程流程卡》确认来料的型号和数量， 2）蚀刻Film一般需两个人完成，一个副手一个蚀刻作业。 3) 蚀刻作业员戴好耐酸碱手套和防水鞋。 4) 副手从待蚀刻区网车双手按拿取Film动作要求取出Film放在待蚀刻平台上，ITO面朝上。 5) 蚀刻作业员双手从待蚀刻平台取Film（ITO面朝上，大角在左下）放入清洗槽-1中然后松开左手，右手提住让Film 没入酸液中，让Film保持垂直。 注：右手拿Film时不要太紧，在不影响蚀刻前提下尽量靠边，绝对不能进入印刷有效区 5） 右手垂直将Film取出,先在清洗槽-1上停留几秒（如图3），然后分别在水洗槽-1与水洗槽-2中间至少停留至少15秒，然后放入超声波槽中。 6) 过超声时间到将Fim垂直取出依次放入水洗槽-3，水洗槽-4中各30秒，然后放入清洗机中清洗。 7) 清洗投料时ITO面朝上，大角在左上，材料之间间距保持在400mm以上 图1 图2 图3 3.3 材料蚀刻首件需测试其绝缘阻抗，蚀刻完毕后填写流程卡和材料一起流入下工序。 受控文件管制章 文件类别 作业规范 文件编号 YZ-WI-002 版 号 V1.0 4/4 文件名称 蚀刻水洗作业规范 页 次 生效日期 2009年10月29日 4.注意事项 1) 配制前,所用容器、工具必须洁净干燥, 每次使用完毕, 应立即清洗。 2) 工作桌面保持清洁、整齐。 3) 使用完的试剂,必须立即将瓶盖拧紧, 避光放于阴凉处。 4) 配制溶液,所需用水必须采用纯水, 溶液配制完后用塑料勺加入槽中。 5) 溶液配制必须在通风处进行,操作人员需配戴耐酸、碱手套、口罩、防护眼镜及穿雨鞋。 6) 配制酸液时,不能将水注入酸中, 否则极易产生爆炸。 7) 酸、碱不慎沾到皮肤上, 应立即用水清洗。 8) 每次生产前,酸液、碱液的浓度必须测试。连续生产时,每3.5-4.0小时需测试槽中酸、碱液浓度,若浓度不足,需添加。当生产量大, 应适当增加测试频率, 以确保溶液浓度在要求范围内。 9)碱液: 每工作24小时换一次槽液并清洗碱槽; 酸液:每工作1个月换一次槽液并清洗酸槽; 水洗机纯水、自来水每工作周换一次槽液并清洗水槽. 蚀刻线纯水每天作业前更换一次槽液并清洗水槽. 注:不足规定时间,浓度不足可添加。 10)一个月没生产,则槽液需排放,不能留在槽中。 11)纯水每次开机前及连续工作每3.5-4.0小时需测试,混床电阻率≧1MΩ,纯水PH=6.5-7.0方可生产。 12）蚀刻房无关人员严禁进入，不相关的物品禁止带入。 13) 任何产品不允许在蚀刻房停留超过半个小时。