专利名称：基于双光栅的高精度三维角度测量方法与装置专利类型：发明专利
发明人：崔继文,任文然,谭久彬申请号：CN201811479172.6申请日：20181205公开号：CN109470176A公开日：20190315
摘要：基于双光栅的高精度三维角度测量方法与装置属于精密仪器制造和精密测试计量技术；本发明采用一维平面反射光栅和一维平面透射光栅组成的组合靶标作为敏感器件，实现了敏感器件的三维角度变化量测量；采用共光路补偿测量方法，利用差分数据处理算法，可以有效地消除由光源扰动以及光束传播路径上引入的扰动，在实现三维角度变化量测量的同时，提高了三维角度测量精度和测量稳定性。
申请人：哈尔滨工业大学
地址：150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
国籍：CN
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