一种钨合金的研磨抛光方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201910748593.2 （22）申请日 2019.08.14 （71）申请人 大连理工大学

地址 116024 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号

（10）申请公布号 CN110509114A

（43）申请公布日 2019.11.29

（72）发明人 郭江;史晓琳;宋传平;金洙吉 （74）专利代理机构 大连理工大学专利中心

代理人 李晓亮

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种钨合金的研磨抛光方法

（57）摘要

一种钨合金的研磨抛光方法，属于金属合

金的超精密加工技术领域。具体步骤为：(1)粗研：选用去离子水为研磨液，抛光液流量设置为6～12ml/min，选用粒径20～50μm的金刚石固结磨粒研磨垫研磨，研磨加工时间设置为20～40min。(2)精研：金刚石磨料粒径为5～20μm，加工时间设置为40～60min，其余加工参数与粗研相同。(3)抛光：抛光液含有硅溶胶、PH调节剂、去离子水，硅溶胶磨料的体积分数为10～

25％，PH值为2～5；抛光液流量设置为4～6ml/min，研磨压力设置为20‑40kpa，研磨加工时间设置为1.5～2.5h。整个研磨抛光工艺加工时间低于5h，且抛光后的钨合金表面的粗糙度Ra小于10nm，可满足实际加工领域的精度要求，实现了钨合金的超精密加工。

法律状态

法律状态公告日

2019-11-29 2019-11-29 2019-12-24

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效

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公开 公开

实质审查的生效

权利要求说明书

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说明书

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