基于CAE分析的旋转电镀阴极电流密度分布的评价方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201310742839.8 （22）申请日 2013.12.24

（71）申请人 三星高新电机(天津)有限公司

地址 300385 天津市西青区西青微电子工业园区微三路1号

（10）申请公布号 CN103849922A

（43）申请公布日 2014.06.11

（72）发明人 孙永爱;王宇;李永峰

（74）专利代理机构 天津市三利专利商标代理有限公司

代理人 徐慰明

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

基于CAE分析的旋转电镀阴极电流密度分布的评价方法

（57）摘要

本发明涉及电镀技术领域，尤其涉及一种

基于CAE分析的旋转电镀阴极电流密度分布的评价方法，包括以下步骤：a、建立旋转电镀装置有限元模型，选取阴极圈为分析对象；b、设定垂直旋转电镀锡的阳极篮电流值、阴极导电孔处的电位；c、对阴极圈内壁电流密度分布进行仿真；d、将仿真结果与基准参考值进行比较，若仿真结果大于基准参考值，则说明此部位容易发生流动不良，反之，为合格。本发明结构简单，工艺参

数修改方便，大大减少实验次数，缩短实验周期，降低实验成本，基于该评价结果的改善大大降低了MLCC制品流动不良率，提升了MLCC制品的品质，更适于对未知的复杂系统的研究。

法律状态

法律状态公告日

2014-06-11 2014-06-11 2014-07-09 2014-07-09 2017-07-21

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 专利权的视为放弃

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权利要求说明书

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说明书

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