专利名称：微机械元件、具有微机械元件的部件和用于制造部
件的方法
专利类型：发明专利发明人：S·甘特奈尔,B·施密德申请号：CN201280065850.9申请日：20121102公开号：CN104024144A公开日：20140903
摘要：本发明涉及一种微机械元件(123a)、一种具有微机械元件(123a)的部件(100)和一种用于制造部件(100)的方法。在此，微机械元件(123a)具有多个单独传感器元件(1'a、2'a、3'a、23a)，其中，通过第一单独传感器元件(1'a、2'a、3'a、23a)能够测量第一物理测量参数，并且通过第二单独传感器元件(1'a、2'a、3'a、23a)能够测量第二物理测量参数。
申请人：大陆-特韦斯贸易合伙股份公司及两合公司
地址：德国法兰克福
国籍：DE
代理机构：北京市中咨律师事务所
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